Occasion CANON / ANELVA C-7100GT #9281807 à vendre en France
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Vendu
ID: 9281807
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
PVD System, 12"
(3) Chambers:
Chamber 1: TiN
Chamber 2: TiN
Chamber 3: SiO2 ETCH (A-CH)
Pre-clean chamber
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / - / D-Chamber
(4) / 99009-58901 / DC5KW Plasma generators Dual, QIP
(4) / 1055-08698 / Stages, RF 2PVD
(8) / 1055-17508 / Sheet, carbon stages
(4) / 1038-05492 / Quartz rings, PY362
(1) / - / D-Chamber rack
(1) / - / Cable
(4) / 1042-17090 / 25V 250W Heaters
(1) / 9007-58377 / Termo couple, RD310
(3) / 0111-90397 / Multi navi
(3) / N50023210 / Ion gauge controllers
(9) / N12004545 / Lamp heater powers
(3) / 9006-86546 / RF Power supplies 2KW (AX-20003A)
(1) / 9001-14094 / LL / Slit valve
(3) / 9001-13959 / PVD Slit valves
(4) / N20208864 / Z, Sensor controllers
(12) / 1042-17090 / 25V 250W heaters
(3) / 9007-58377 / Thermo couples, RD310
(3) / N50023131 / Stabil-ion gauges
(3) / N50025919 / Baratron gauges
(5) / - / Brakets
(20) / 1063-41277 / PLCs
(20) / 1071-76104 / PLCs
(20) / 1072-27727 / PLCs
(4) / 9007-60358 / Thermo couple controllers
(1) / 9007-61508 / CCD
(4) / 9007-58822 / CCD Cameras
(4) / N20208711 / Z, Sensor
(1) / 9014-41321 / TR Robot EE
(1) / 9009-87803 / EFEM Robot EE
(9) / - / Destrubting sheets
(1) / 1042-08203 / Lamp heater assy, connect
(1) / 1037-34502 / Heater base
(3) / 1042-17090 / 250W 25V Heaters, (2) assys
(1) / 1042-17171 / Cable, heater assy
(1) / 1023-20960 / Shutter shaft cover
(1) / 1037-27377 / Stage, RF (2) PVD
(8) / 1055-08698 / Springs, hold stage
(1) / 1055-17427 / Quartz ring, PY362
(3) / 1038-05492 / Quartz RPIN, L15xD5
(2) / 1046-92614 / Bolt, location al203
(3) / 1057-53934 / Stopper pins
(16) / 1035-18922 / H3 x 8, AG
(20) / N31000015 / S SUS304 WA x 3 Flat washers
(2) / TMF-403M / RF 2PVD
(10) / - / Shield adaptors
(10) / - / HE Elbows
(2) / - / Power cables
(4) / - / LID Lamp heaters
(1) / - / Maintenance USB port
(3) / - / PLC Racks
(1) / - / Heater connection box
(1) / - / SMKE Sensor
(1) / - / EMO
2011 vintage.
CANON/ANELVA C-7100GT L'équipement de pulvérisation est un système de pulvérisation polyvalent et très efficace qui peut être utilisé pour déposer des couches minces conformes sur des substrats de différentes tailles. Il est capable de pulvériser à la fois des processus résistifs et des faisceaux d'électrons, ainsi que de multiples types de films, épaisseurs et compositions. CANON C-7100GT est constitué d'une unité compacte à deux étages qui est équipée de deux chambres réactives (magnétron) et d'une chambre de pulvérisation continue (DC). ANELVA C-7100GT est conçu pour des processus de puissance supérieure et peut déposer jusqu'à deux films à la fois, permettant le dépôt in situ de films, tels que des couches alternées de métaux et de diélectriques, ainsi que des superpositions complexes et des structures à haut rapport d'aspect. C-7100GT est équipé d'alimentations en courant continu entièrement programmables et de relais à état solide pour assurer un contrôle précis de tous les paramètres du processus. La machine peut également être équipée d'une alimentation RF en option pour les applications de pulvérisation magnétron. En plus de la station de pulvérisation, CANON/ANELVA C-7100GT contient également un outil de transfert de substrat multi-chambres (MCT) pour charger/décharger des substrats de la ou des chambres de pulvérisation. Le MCT facilite le changement des substrats en temps utile tout en permettant un transfert et un chauffage commodes des substrats de la ou des chambres. CANON C-7100GT possède également une source turbo de grande capacité pour des cibles plus précises, des taux de dépôt élevés et une plus grande uniformité du revêtement. En termes de sécurité, ANELVA C-7100GT dispose d'un moyen de verrouillage sous vide qui empêche l'ouverture de la chambre de traitement alors que la chambre n'a pas été évacuée correctement. Ceci, avec une chambre hermétiquement fermée, assure qu'il n'y a pas de risques d'exposition aux gaz dangereux pendant le fonctionnement. C-7100GT dispose également d'un bouton d'arrêt d'urgence intégré et d'un modèle de surveillance thermique pour protéger à la fois l'équipement et l'opérateur. En conclusion, CANON/ANELVA C-7100GT Sputtering Equipment est un système de sputtering efficace et très polyvalent idéal pour déposer des couches minces conformes et des superpositions complexes sur des substrats. Il est équipé de deux chambres réactives et d'une chambre de pulvérisation à courant continu, ainsi que d'une unité de transfert de substrat multi-chambres et d'une source turbo de grande capacité pour un contrôle précis de la cible et un taux de dépôt élevé. La machine intègre également une variété de caractéristiques de sécurité, telles qu'un outil de verrouillage sous vide, une chambre hermétique et un bouton d'arrêt d'urgence.
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