Occasion CANON / ANELVA C-7170C #9031249 à vendre en France
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CANON/ANELVA C-7170C L'équipement de pulvérisation est un système de dépôt de pulvérisation efficace et performant pour la production de films minces avec une excellente reproductibilité. L'unité CANON C-7170C est conçue pour la production industrielle, la recherche-développement et les applications en laboratoire. La machine dispose d'un scanner sophistiqué, d'un chargement et d'un déchargement automatisés des substrats, et d'une grande variété d'options de processus, y compris le nettoyage des ions Ar, le dépôt des pulvérisateurs, la mesure électrique et l'observation in situ. L'outil ANELVA C-7170C se compose de plusieurs composants : un actif de pulvérisation à deux chambres, deux sources d'énergie RF, un scanner en mouvement automatique, un porte-substrat, des pompes à vide, une jauge d'ionisation et un contrôleur. Le modèle à deux chambres peut être utilisé à la fois pour la pulvérisation d'argon et la pulvérisation électrostatique. Les deux sources d'énergie RF fournissent la puissance nécessaire aux cibles pour permettre des taux de dépôt élevés, tandis que le scanner automatisé permet le dépôt sélectif de couches minces désirées. Le support de substrat est conçu pour permettre l'application uniforme de couches minces dans des fenêtres de 8 ou 6 pouces de diamètre. Les pompes à vide haute fournissent le niveau de vide nécessaire pour le processus de pulvérisation, et la jauge d'ionisation aide à contrôler la pression absolue de l'équipement. Enfin, le système de commande permet un fonctionnement automatisé de l'unité, et fournit un retour en temps réel sur les performances de la machine. C-7170C outil offre un large éventail de possibilités de processus, tels que ARS élevé (Argon Sputter), ARS faible (Sputter), pulvérisation électrostatique et dépôt, gravure, observation in situ, et mesure électrique. L'actif peut traiter des matériaux avec plus ou moins de difficulté tels que les polymères, les métaux, les céramiques et les oxydes. De plus, le modèle peut être utilisé pour réaliser une large gamme de couches minces, des métaux aux alliages métalliques, en passant par les semi-conducteurs amorphes, cristallins et composites. L'équipement peut également être utilisé pour produire des films épais, avec une surface constante et uniforme. Le système offre un excellent contrôle sur les paramètres du processus, et a un temps de changement rapide de substrat de 6 secondes par substrat, permettant un haut débit pour les applications de production. En outre, l'unité est capable d'une gravure ionique ultra-précise avec une pression de base de 5 x 10-7 Torr pour obtenir une contamination de surface des matériaux extrêmement faible. Les fonctionnalités automatisées de la machine permettent de réduire les coûts de main-d'œuvre et d'améliorer le débit global de l'outil, ce qui le rend idéal pour les opérations de production. Dans l'ensemble, CANON/ANELVA C-7170C est un excellent actif de dépôt de pulvérisateurs rentable et axé sur les performances pour la production, la recherche et le développement et les applications en laboratoire. Les caractéristiques du modèle permettent aux utilisateurs de réaliser un large éventail de processus de dépôt avec une excellente reproductibilité et des rendements excellents.
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