Occasion CANON / ANELVA C-7300 #9366161 à vendre en France
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ID: 9366161
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Sputtering system, 12"
Non-SMIF type
Wafer type: Notch
Pin chuck
Operation system: Windows
Missing parts:
CHM Stage heater
Load lock cryo pump
2010 vintage.
CANON/ANELVA C-7300 est un équipement de revêtement des pulvérisateurs magnétron conçu et fabriqué par CANON Corporation. Développé pour répondre aux exigences de plus en plus strictes des applications de traitement de surface et de dépôt, CANON C-7300 utilise un procédé de pulvérisation cathodique magnétron (CMS) télécommandé, idéal pour le revêtement de grandes surfaces et de composants avec un haut degré d'uniformité. ANELVA C 7300 se compose de deux composants principaux : la chambre de traitement et l'alimentation magnétron. La chambre se compose principalement de la chambre de procédé, de la boîte à gaz, des pompes à vide et de l'alimentation en liquide de refroidissement, et du pistolet à pulvérisation magnétron. A l'intérieur de la chambre de traitement, le pistolet à pulvérisation magnétron est monté sur la paroi de la chambre, ce qui permet au pistolet à pulvérisation de tourner dans le sens des aiguilles d'une montre et dans le sens inverse des aiguilles d'une montre sans restriction. Le gaz est introduit par la boíte à gaz du côté de la chambre, tandis que les pompes d'évacuation régulent la pression à l'intérieur de la chambre. L'alimentation en magnétron, située à l'extérieur de la chambre de traitement, est reliée au pistolet cathodique par l'intermédiaire d'un câble haute tension. CANON/ANELVA C 7300 utilise un processus CMS très efficace, où des ions négatifs accélérés vers la cible par un champ interne sont attirés vers l'échantillon, créant un plasma à basse pression rempli d'atomes énergivores. Le bombardement résultant de ces atomes sur l'échantillon crée une couche mince et homogène du matériau désiré. Grâce à l'utilisation de réseaux d'obturateurs, le transport de matière pulvérisée de la cible à la surface de l'échantillon peut être contrôlé avec précision. C-7300 système est conçu pour assurer un contrôle précis de la vitesse de dépôt, de l'épaisseur du film, de la couverture par étapes et de la composition du film mince résultant. Son interface conviviale permet d'accéder facilement à des paramètres unitaires tels que la vitesse de la pompe, la pression, le débit et la puissance, de sorte que la configuration et le fonctionnement de la machine peuvent être rapidement optimisés en fonction de l'application. Pour des raisons de sécurité, l'outil comprend des mesures de protection contre la température et l'exposition, ainsi qu'un O/S de type PC pour un accès immédiat aux paramètres des actifs. Le modèle C 7300 est un choix idéal pour le dépôt de couches minces sur des substrats. Son contrôle précis sur des paramètres tels que la puissance de dépôt, le débit de gaz et la pression, fournissent un degré de personnalisation inégalé par tout autre équipement de revêtement de pulvérisateurs existants. De plus, sa conception robuste et ses composants de haute qualité garantissent des performances fiables et une utilisation à long terme.
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