Occasion CANON / ANELVA E-730S-FH #9167771 à vendre en France

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CANON / ANELVA E-730S-FH
Vendu
ID: 9167771
Taille de la plaquette: 5"
Sputtering system, 5".
CANON/ANELVA E-730S-FH est un équipement de pulvérisation destiné à la fabrication de semi-conducteurs. Ce système est capable de pulvériser des couches diélectriques et métalliques sur des plaquettes. Il peut également pulvériser des couches de céramique et d'alliage. CANON E-730S-FH permet aux utilisateurs de contrôler facilement les paramètres du processus, tels que la pression du gaz, la pression d'Argon (Ar), la température et la pression des gaz de dépôt. Ces paramètres peuvent être ajustés pour répondre aux besoins de l'utilisateur. L'unité dispose également d'une fonction de gravure d'impulsions, qui permet aux utilisateurs d'ajuster la gravure d'impulsions pour optimiser leur taux de dépôt. ANELVA E-730S-FH dispose d'une chambre de pulvérisation avec un diamètre de 960 mm. Cela permet de pulvériser de grandes plaquettes jusqu'à 13 pouces (312,85 mm) de taille. La machine dispose également d'une alimentation à double fréquence capable d'alimenter jusqu'à 4.2kW. Cette alimentation peut être utilisée pour générer à la fois des dépôts de pulvérisateurs RF en courant continu et en haute fréquence. E-730S-FH est conçu pour fournir une pulvérisation de haute qualité, fiable et efficace. Il est équipé d'un outil de contrôle des gaz en boucle fermée pour s'assurer que les paramètres de processus souhaités sont maintenus tout au long du processus de pulvérisation. Cet actif peut être utilisé pour pulvériser divers matériaux, tels que l'aluminium, le cuivre, le chrome, le tantale et les couches minces. Ce modèle dispose également d'un équipement de contrôle sous vide, qui permet d'assurer une grande pureté du matériau déposé. Le système est conçu pour éviter que les pompes à air ne dégradent la vitesse de dépôt, et est également conçu pour limiter l'accumulation de poussière dans la chambre à vide. CANON/ANELVA E-730S-FH est équipé d'alarmes visuelles et sonores. Si quelque chose ne va pas pendant le processus, les opérateurs peuvent facilement surveiller l'état de l'unité avec les indicateurs d'alarme. La machine permet également aux utilisateurs d'enchaîner plusieurs systèmes et de les exécuter en toute sécurité de manière automatisée. Cette fonctionnalité permet à plusieurs systèmes de pulvérisation de fonctionner simultanément tout en veillant à ce que toutes les pièces fonctionnent correctement. Cette fonction peut aider à améliorer l'efficacité et à réduire les coûts de pulvérisation. Dans l'ensemble, CANON E-730S-FH est un outil fiable et efficace de pulvérisation capable de produire des couches de dépôt de haute qualité. Cet actif est disponible pour la recherche et les applications manufacturières.
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