Occasion CANON / ANELVA EVC-1501 #293816779 à vendre en France

ID: 293816779
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1994
Evaporator, 4" (4) Deposition ports 1994 vintage.
CANON/ANELVA EVC-1501 est un équipement de pulvérisation autonome à trois chambres conçu avec un design compact et ergonomique idéal pour les petites séries de production. Le système est conçu pour un dépôt efficace, efficace et économique de couches minces et d'autres revêtements spécialisés sur des substrats plats, courbes, cylindriques et autres. CANON EVC-1501 dispose de trois chambres, une chambre de levage de processus/chargement, une chambre de transfert de substrat et une chambre à vide. La chambre de levage de processus/chargement se compose d'un leveur de processus à double paroi isolé thermiquement et d'une table de levage d'air. Le Lifter de procédé soulève et abaisse le substrat et est utilisé pour le chargement et le déchargement des substrats. La chambre de transfert de substrat permet le transfert de plusieurs substrats entre chambres. La chambre à vide exerce un vide pour maintenir les pressions de pulvérisation requises. ANELVA EVC-1501 dispose de diverses sources de pulvérisation. Un pistolet pneumatique permet la pulvérisation d'une grande ou petite surface avec une grande uniformité. Cette unité utilise également un canon à pulvérisation magnétique et un canon à faisceau d'électrons pour la pulvérisation de composants à haut rapport d'aspect et de structures complexes. L'unité utilise également un pistolet à pulvérisation tournante pour des géométries et une uniformité plus grandes. EVC-1501 dispose d'une machine de commande multifonctions qui peut être personnalisée et stockée pour un rappel facile. Cet outil utilise un Programme Teacher Asset pour simplifier les processus de dépôt complexes. L'unité dispose également d'un modèle de contrôle automatique de la pression (APCS) qui surveille en permanence la pression de pulvérisation pour maintenir un processus uniforme. CANON/ANELVA EVC-1501 permet une variété de procédés tels que la pulvérisation de métaux, d'oxydes, de nitrures et de composites. L'équipement est suffisamment polyvalent pour pulvériser plusieurs substrats tels que le verre, le plastique, les métaux, la céramique et les semi-conducteurs ainsi que l'application de couches minces pour le stockage de données, la microélectronique et les revêtements durs. CANON EVC-1501 dispose d'une interface intégrée et conviviale pour la configuration des paramètres, la rédaction et l'édition des recettes, la surveillance et le contrôle des processus, l'isolement des canaux aériens et d'autres fonctionnalités. La sécurité de l'opérateur est assurée par des dispositifs de sécurité tels que l'entretoise de sécurité électrique, le couvercle de procédé et l'évent d'échappement. Avec sa construction durable, ANELVA EVC-1501 est un système de pulvérisation électrique fiable et efficace qui garantit un revêtement mince efficace et fiable et un délai de traitement rapide. Cette unité offre flexibilité et commodité avec son interface conviviale, permettant un processus de dépôt personnalisé et cohérent.
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