Occasion CANON / ANELVA EVC-1501 #9031250 à vendre en France

CANON / ANELVA EVC-1501
ID: 9031250
Vacuum coating system Substrate size: 3" Cryo pump.
CANON/ANELVA EVC-1501 est un équipement de dépôt de pulvérisateurs sous vide utilisé pour déposer des couches minces de haute qualité et réparties uniformément à la surface d'un substrat. Il est conçu pour des applications industrielles et de recherche très exigeantes, telles que l'électronique imprimée et les écrans OLED. Le système est équipé d'une chambre de verrouillage de charge, qui fournit un environnement de basse pression pendant le processus, permettant le processus de pulvérisation dans des conditions contrôlées. CANON EVC-1501 peut fonctionner en mode pulvérisation planaire ou rotative, et est capable de pulvérisation à une ou plusieurs cibles. L'unité dispose d'une chambre de traitement multi-zones, appelée « Variable Control Zone » (VCZ), qui permet à l'utilisateur de contrôler l'intensité et l'uniformité du revêtement créé. Le VCZ est capable de décaler la position du substrat par rapport à la cible, permettant ainsi de personnaliser le processus de pulvérisation selon les besoins de l'utilisateur. La machine est équipée d'une source de pulvérisation magnétron DC à haute force, capable de créer des couches minces avec une adhérence et une uniformité supérieures. Il a une durée de vie prolongée en raison de sa faible conception d'entre-pulvérisation et est capable de fonctionner à des taux de dépôt élevés. L'outil dispose d'un amplificateur de puissance RF 2.4kW pour la pulvérisation, avec une plage de puissance réglable de 30-150 V. Il est également équipé d'un générateur à fréquence variable pour une précision et un contrôle accrus du processus de pulvérisation. L'actif est également livré avec un contrôle automatique du gaz, permettant un contrôle précis du débit de gaz de dépôt. En outre, le modèle dispose d'un porte-navette, permettant le transfert rapide et facile des substrats. Il est également équipé d'un équipement piloté par ordinateur, offrant un accès facile au logiciel, au réseau et au contrôle périphérique. Le système a également une fonction de purge à l'azote, assurant un bon nettoyage post-pulvérisation de la chambre. Pour conclure, ANELVA EVC-1501 représente une solution rentable et fiable pour pulvériser des couches minces sur des substrats pour des applications industrielles et de recherche. Il se distingue des systèmes de pulvérisation typiques par son impressionnante chambre de verrouillage de charge, zone de contrôle variable, amplificateur de puissance réglable, contrôle automatique du gaz, porte-navette et unité de contrôle informatique. Toutes ces caractéristiques se traduisent par une machine à pulvériser rentable et performante, bien adaptée aux exigences actuelles de recherche et de pulvérisation industrielle.
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