Occasion CANON / ANELVA I-1012 #9148534 à vendre en France
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L'équipement de pulvérisation de CANON/ANELVA I-1012 est un outil industriel de pointe conçu pour fournir un dépôt de couches minces précis, fiable et hautement contrôlable. Le système se compose d'une chambre principale équipée de deux cathodes planes (ou canons à électrons), d'une alimentation en courant continu haute tension et d'une unité à vide. La tension et le courant de cathode appliqués peuvent varier indépendamment, ce qui permet des procédés de pulvérisation contrôlée et homogène. Un régulateur de débit de gaz en boucle fermée est également inclus, pour assurer la livraison précise du matériau et l'évaporation à la cible. CANON I-1012 peut accueillir des cibles jusqu'à 12 pouces de diamètre et des chambres de traitement jusqu'à 3 pieds cubes. La machine est conçue pour permettre le dépôt par pulvérisation de divers matériaux tels que les métaux, la céramique, les oxydes et les nitrures. Il a la capacité de déposer même les métaux les plus durs, tels que le tungstène, le titane et le vanadium, sur une variété de substrats, y compris le papier, le plastique, le verre, le silicium, le cuivre, l'aluminium et l'acier inoxydable. ANELVA I-1012 offre une excellente uniformité de film, avec des tolérances d'épaisseur et de composition d'environ ± 1 %. Le calendrier du cycle de 1-2 secondes de l'outil est idéal pour le traitement par lots. I-1012 dispose également d'un contrôle indépendant des électrodes, pour une épaisseur de revêtement uniforme et reproductible sur de grandes surfaces de la cible. En outre, il dispose d'un outil de diagnostic intégré pour aider à dépanner et surveiller ses performances afin d'améliorer les processus et de réduire les temps d'arrêt dus à la défaillance de l'équipement ou aux perturbations du processus. Pour une sécurité maximale, CANON/ANELVA I-1012 est protégé par deux systèmes de surpression qui éteignent le vide de la chambre principale et interrompent l'alimentation haute tension en cas de situation dangereuse. En outre, le modèle est livré de série avec des alarmes de sécurité complètes, ainsi que des commandes pour maintenir automatiquement la pression de la chambre tout au long du cycle de processus. L'équipement dispose également d'une surveillance à distance complète, avec jusqu'à 25 canaux de données de processus fournis à l'utilisateur pour faciliter le dépannage et le réglage. Dans l'ensemble, CANON I-1012 est un outil industriel idéal pour assurer un dépôt de couches minces très contrôlable, uniforme et précis. Le système offre également des performances fiables, avec la sécurité de l'utilisateur et la commodité à l'esprit.
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