Occasion CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #293830304 à vendre en France
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ID: 293830304
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
Sputtering system, 8"
2003 vintage.
CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1 est un équipement de pulvérisation à haute performance conçu pour le dépôt de couches minces. Il utilise la technique de pulvérisation par pulvérisation parallèle pour assurer à la fois une vitesse de dépôt et une uniformité accrues, ce qui le rend adapté à diverses applications telles que la passivation, les couches barrières, les couches de contact et les matériaux d'électrodes. Le système est équipé d'un générateur de radiofréquences (RF) de grande puissance qui peut être utilisé pour la pulvérisation à source unique et à source double. Sa chambre à vide est conçue pour un fonctionnement et un entretien faciles, avec une pompe mécanique intégrée pour contrôler la pression de la chambre. La turbo-pompe intégrée assure une basse pression de fond et élimine la nécessité d'une pompe getter séparée. La plaque d'anode flottante en acier inoxydable (porte-cible) assure un dépôt uniforme, et un canon à ions de grande capacité peut être utilisé pour la gravure et le nettoyage supplémentaires, ainsi que pour la pulvérisation par polarisation inverse, si désiré. La machine comprend un outil d'alimentation en gaz pour le dépôt de gaz réactifs tels que l'oxygène, l'azote et l'argon. En outre, l'actif peut contrôler la température entre la température ambiante et 300 degrés Celsius sans l'utilisation de l'eau. CANON I-1060SVII PLUS-1 offre une gamme de puissance de pulvérisation comprise entre 0,1 et 5 kW, avec une fréquence sélectionnable de 13,56 MHz. Il est équipé d'une puissante lampe à quartz, qui peut être utilisée pour recuit les films déposés. Comme avantage supplémentaire, le modèle dispose d'un équipement de surveillance et de contrôle à distance, qui permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster les paramètres de dépôt à partir de n'importe quel endroit. Dans l'ensemble, ANELVA I-1060 SVII PLUS-1 est un choix idéal pour les applications nécessitant une pulvérisation rapide et fiable à un prix abordable. Sa combinaison de caractéristiques avancées et de capacités polyvalentes le rend bien adapté à un large éventail de processus de dépôt.
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