Occasion CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9120224 à vendre en France
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ID: 9120224
Style Vintage: 1996
System
Configuration:
L1 Etch chamber
Turbo pump: Osaka TG-550
RF: WMA-1, double frequency
L2 Deposition chamber
Cryo pump: CAP83R
DC Power: PDC-870D
L3 Deposition chamber
Cryo pump: CAP83R
DC Power: PDC-609
R3 Deposition chamber
Cryo pump: CAP83R
DC Power: PDC-307E
R2 Despostion chamber
Cryo pmp: CAP83R
DC Power: PDC-307E
R1 Degas chamber
Lamp heater: 400°C
L/L Left chamber
Cryo pump: CAP83R
L/L Right chamber
Cryo pump: CAP83R
Includes:
Edwards dry iQDP80
Cryo compressor CRC 874
Main control rack
operation rack
RF Generator rack
DC Power supply rack
UPS PS1203
PVD Rack
1996 vintage.
CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1 est un équipement de pulvérisation polyvalent ultramoderne conçu pour réaliser des procédés de pulvérisation physique et chimique. Ce système de pulvérisation haute performance est capable de produire une variété d'applications pour des matériaux tels que des films minces, des multicouches et des composites. Il est idéal pour les industries nécessitant une pulvérisation de précision, telles que les applications MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems), les semi-conducteurs, les capteurs et l'optoélectronique. L'unité utilise une alimentation moyenne fréquence (MFPV), qui est conçu pour réduire la taille de la machine tout en maintenant la plus haute puissance hyperfréquence possible. Ceci permet d'uniformiser le processus de pulvérisation, même à des taux de pulvérisation élevés. CANON I-1060SVII PLUS-1 se compose d'un outil principal haut de gamme (y compris la source, le commutateur et la chambre) et d'une console d'opérateur ergonomique. Il dispose également d'une tête et d'une source de pulvérisation Magnetron de fond, ainsi que d'ensembles de sources de pulvérisation et de cibles indépendants adaptés. L'actif dispose également de capacités de mesure et de contrôle révolutionnaires, telles que la rétroaction automatique de puissance, le contrôle numérique, le contrôle de processus à grande vitesse et un modèle d'enregistrement de données. Cela assure un contrôle précis des taux de dépôt des pulvérisateurs, ainsi que la capacité d'enregistrer des informations pour l'optimisation du procédé et l'amélioration de la capacité du procédé. La tête et la source de pulvérisation sont conçues pour maximiser l'uniformité et la répétabilité, comme requis pour de nombreuses applications. Il est capable de produire des particules de pulvérisation extrêmement petites, ce qui le rend capable de produire des films minces nanostructurés uniformes - un grand avantage pour l'électronique de pointe, les capteurs et les produits MEMS. L'équipement offre une flexibilité exceptionnelle pour répondre à une grande variété d'exigences de processus de pulvérisation, avec la capacité de personnaliser chaque application. Cela comprend l'échange automatique de cibles, la pulvérisation à double source, les opérations d'arrêt et de redémarrage, et les opérations de nettoyage des buses pour assurer la plus grande productivité et fiabilité du système. ANELVA I-1060 SVII PLUS-1 possède toutes les caractéristiques requises pour le plus haut débit, la précision et la fiabilité pour le traitement de surface.
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