Occasion CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9171868 à vendre en France

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1 est un équipement de pulvérisation à haute dépression à chambre simple conçu pour déposer des films minces sur des substrats pour des applications avancées en microélectronique et optique. L'unité a une pression de base de 2x10-6 Torr, obtenue au moyen d'une pompe turbomoléculaire à étage actif. La puissance de pulvérisation maximale fournie par le I-1060 est de 5kW et il a une plage de puissance réglable de 0-10 %, ce qui le rend adapté à une variété d'applications. Un tube isolé monté à l'arrière de l'unité fournit une puissance supplémentaire pour la pulvérisation magnétron. De plus, le I-1060 dispose d'un obturateur à vide élevé pour séparer la chambre de chargement/déchargement du substrat de la chambre de croissance du film. Le I-1060 peut accueillir une variété de cibles jusqu'à 60cm de diamètre, avec une surface cible totale de 170cm2. Il a une vitesse de pulvérisation variable de 0,1-30 cm/min, qui peut être réglé à l'aide d'un système à microprocesseur. L'électrode de table dans le I-1060 fournit une masse pour le champ électrique qui transfère des électrons vers le matériau cible, entraînant la formation du plasma. L'électrode de table (TME) augmente l'homogénéité des couches déposées et permet la formation de films texturés. L'unité comprend également une unité de rugissement à 4 étages, ainsi que des vannes de vide de maintenance, une machine de purge, des filtres de trois microns, deux baffles et une ligne de pompage. En outre, un contrôleur numérique avec un outil de compensation de température permet une facilité de fonctionnement et permet à l'utilisateur d'effectuer tous les ajustements nécessaires aux paramètres de pulvérisation. Le I-1060 offre un contrôle précis de l'épaisseur du film, avec une différence d'épaisseur du film inférieure à 10 %. Il y a également un actif d'inspection en couches minces inclus avec le modèle qui assure le contrôle de la qualité. De plus, le I-1060 utilise une variété de gaz tels que l'argon, l'azote, l'O2, le H2 et le N2 pendant le processus de pulvérisation. En outre, les diagnostics à distance avancés et les mécanismes de sécurité améliorent les performances de l'équipement et le protègent de tout dommage potentiel.