Occasion CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9273917 à vendre en France

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1 est un équipement de pulvérisation capable de déposer des couches minces sur des substrats. Il est typiquement utilisé pour le dépôt de films durs, conducteurs et diélectriques pour un large éventail d'applications. CANON I-1060SVII PLUS-1 a un débit élevé et est très efficace. Il offre une grande précision, une grande précision et des propriétés mécaniques supérieures avec une grande variété de matériaux, et est capable d'appliquer des couches très minces de revêtements avec un contrôle serré de l'épaisseur du film. ANELVA I-1060 SVII PLUS-1 a une source primaire de pulvérisation magnétron avec une vitesse maximale de pulvérisation allant jusqu'à 100 nm/min dans l'environnement d'essai standard. Sa zone de travail verticale fournit une grande surface de dépôt de pulvérisateurs allant jusqu'à 32 « x 18 ». La source de pulvérisation est alimentée par une alimentation électrique de 6 KW qui fournit une énergie ionique ciblée uniforme. La source de pulvérisation est équipée d'une cible cathodique de 15 "de diamètre avec une vitesse maximale de pulvérisation de 132 nm/min. Il dispose également d'un support de substrat rotatif programmable avec une capacité de 135 ° C. ANELVA I-1060SVII PLUS-1 dispose d'une pompe à vide installée de pompes turbomoléculaires et rugueuses, et d'une jauge de vide numérique qui permet une évacuation rapide de la chambre à basse pression ultime. Il dispose d'un système de contrôle automatique de la pression (APC) qui réduit le temps de chauffage du substrat et augmente l'uniformité des substrats avec une large gamme d'épaisseur. En outre, l'unité dispose également d'une machine de contrôle des fuites d'hélium, qui permet de mesurer directement les petites fuites de la source de pulvérisation. En outre, l'outil est également conçu avec un atout de mouvement X et Y raster. Ceci affecte les mouvements du substrat conduisant à un dépôt de pulvérisateurs uniforme sur l'ensemble du substrat ainsi qu'à une rugosité superficielle réduite avec une adhésion accrue. De plus, un moniteur plasma actif permet d'optimiser la vitesse de pulvérisation avec le bon degré de gaz ionisé pour des revêtements lisses et uniformes. CANON/ANELVA I-1060SVII PLUS-1 est un modèle entièrement piloté par ordinateur qui peut être utilisé avec un logiciel convivial pour une utilisation facile. Il dispose de paramètres de stockage de données pour une configuration rapide et fournit un aperçu du contrôle des processus et de l'enregistrement des données. L'équipement est fréquemment utilisé pour diverses applications telles que le revêtement dur sur plastique, le dépôt de semi-conducteurs et le dépôt de couches minces pour les cellules solaires à couches minces, l'affichage TFT et LCD et l'éclairage LED.