Occasion CANON / ANELVA I-1060 #9144792 à vendre en France
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CANON/ANELVA I-1060 est un équipement de pulvérisation de haute précision, de qualité industrielle, capable de produire des films minces de haute pureté et uniformes. Développé par CANON, le système est largement utilisé dans diverses industries pour de nombreuses applications, telles que les panneaux solaires, les écrans plats, les panneaux tactiles, les supports optiques de stockage et de nombreux autres articles nécessitant des couches de dépôt hautement spécifiées. CANON I-1060 est une unité de pulvérisation magnétron verticale, qui utilise des aimants de forte puissance pour propulser des ions plasmatiques sur un substrat de forme appropriée, isolé électriquement. Ce procédé permet à l'utilisateur d'avoir une grande maîtrise de la vitesse de dépôt, de l'homogénéité du matériau déposé, et d'autres paramètres importants. La machine offre également la possibilité de produire des films de presque n'importe quelle épaisseur, ce qui la rend parfaite pour des applications nécessitant des couches très minces. ANELVA I-1060 offre une large gamme de niveaux de vide, atteignant des pressions de 1 à 10-3 mbar, selon le procédé choisi. Cela permet l'adaptation de l'outil à une variété de substrats et de demandes d'application. I-1060 offre également des capacités de nettoyage de chambre, ainsi qu'une variété de systèmes de retrait de plaquettes, permettant un fonctionnement sans équipage. En outre, l'actif dispose d'un modèle de contrôle automatique du débit de gaz et d'un équipement de positionnement de mouvement fin pour contrôler avec précision l'ensemble du processus de dépôt. D'autres caractéristiques de CANON/ANELVA I-1060 comprennent l'utilisation de la pulvérisation RF, DC et DC impulsionnelle, permettant de réaliser des films d'oxyde, des couches conductrices et des films d'alliage. Le système dispose d'une traversée interne pour les applications à vide ultra-élevé, ainsi que d'une unité de nettoyage auto-chambre multi-étapes. De plus, CANON I-1060 supporte diverses sources de revêtement, y compris les cathodes planaires, les pistolets pulvérisateurs, les cathodes rotatives et le magnétron triple onde, ce qui aide à atteindre des taux de dépôt élevés et des revêtements en couches minces hautement spécifiés. Dans l'ensemble, ANELVA I-1060 est une machine à pulvériser exceptionnelle qui offre des capacités de dépôt complètes, tout en respectant les normes de qualité les plus élevées. Sa flexibilité, sa fiabilité et sa précision le rendent bien adapté à une variété d'applications industrielles qui exigent des performances élevées.
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