Occasion CANON / ANELVA I-1060 #9148536 à vendre en France

CANON/ANELVA I-1060 est un équipement de pulvérisation de haute précision utilisé principalement pour le dépôt de couches minces dans la fabrication de semi-conducteurs et de produits connexes. Le système est conçu pour assurer un dépôt uniforme et reproductible de couches minces sur une variété de substrats, y compris les plaquettes semi-conductrices, le verre et d'autres matériaux. L'unité est constituée d'une chambre piédestale sous vide qui abrite le porte-substrat et les sources et cibles de pulvérisation. La machine à vide est reliée à une conduite de gaz fournissant un gaz réactif qui est introduit dans la chambre. Pour atteindre une bonne cible de couverture de plaquettes, CANON I-1060 est conçu pour effectuer la pulvérisation magnétique. L'outil est équipé d'une alimentation variable qui fournit une alimentation contrôlée à la source de pulvérisation magnétron. L'actif utilise également un étage XY à moteur pas à pas pour assurer le mouvement précis et précis du porte-échantillon pour un revêtement uniforme de l'ensemble de la plaquette. De plus, ANELVA I-1060 est également équipé d'un dispositif haute position qui mesure l'ionisation individuelle du matériau sur le substrat, assurant une épaisseur uniforme du film mince. Pour mesurer les propriétés du film mince, le modèle est également équipé d'un spectromètre et/ou d'un ellipsomètre pour analyser les propriétés du matériau en différents points de la plaquette. En outre, l'équipement est conçu pour un entretien facile et est équipé d'une variété de caractéristiques de sécurité. Celles-ci comprennent des caractéristiques qui contribuent à assurer la sécurité de l'exploitant et de l'environnement. Le système comprend également une unité de diagnostic automatisé des défauts pour identifier et dépanner les problèmes potentiels. Dans l'ensemble, I-1060 est une machine à pulvériser bien conçue conçue pour fournir un dépôt uniforme et uniforme de couches minces pour une variété de substrats utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. L'outil comprend une variété de caractéristiques pour assurer un revêtement uniforme de l'ensemble de la plaquette ainsi que pour analyser les propriétés du film mince. Il comprend également une variété de caractéristiques de sécurité et de maintenance pour assurer un fonctionnement sûr et des performances optimales.