Occasion CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9144048 à vendre en France

CANON I-1060SV2 + 1 est un équipement de pulvérisation automatique utilisé pour le revêtement de couches minces sur divers matériaux de substrat. Ce système est équipé d'une chambre de chargement de plaquettes de cinq poches de grande capacité pouvant accueillir jusqu'à 10 "de plaquettes. L'unité utilise une cathode multi-faces qui peut être commandée indépendamment et qui assure une plus grande homogénéité de dépôt sur les substrats. La machine a deux cathodes pour la pulvérisation magnétique et e-faisceau. Les sources cathodiques comprennent trois pour la réalisation de pulvérisation spécifique du faisceau électronique et deux autres pour la pulvérisation régulière. Les parois de la chambre sont en acier inoxydable et assurent une répartition régulière et uniforme des gaz nobles à faible réactivité, tels que l'Argon, vers le substrat pour une uniformité accrue du revêtement. Cet outil permet d'obtenir une grande homogénéité des revêtements sur l'ensemble du substrat en utilisant de multiples cibles tournantes et cathodes indépendantes, délivrant des films uniformes sur la surface du substrat. L'actif offre également un contrôle à distance des dépôts pour permettre une uniformité sur l'ensemble du substrat. Le processus peut être efficacement contrôlé par l'utilisation de cibles stoechiométriques, et le réglage de la puissance de chaque cathode peut être ajusté individuellement pour contrôler la vitesse de dépôt. ANELVA I-1060SV2 + 1 peut atteindre des taux de dépôt élevés avec un minimum de contaminants et une uniformité de procédé supérieure. Le modèle comprend également des éléments chauffants à température contrôlée et des sondes de température pour assurer un dépôt uniforme du film. L'équipement de transfert de navette Cassette est également conçu pour réduire le dépôt de fond de chambre en effectuant un échange de substrat sous vide, pour une uniformité accrue du revêtement. En conclusion, CANON/ANELVA I-1060SV2 + 1 système de pulvérisation est conçu pour le revêtement de couches minces sur divers matériaux de substrat avec une plus grande uniformité. Il comporte deux cathodes et cibles tournantes commandées indépendamment, ainsi que des commandes de dépôt à distance et des éléments contrôlés en température pour assurer un dépôt uniforme du revêtement. Cette unité offre des taux de dépôt élevés avec un minimum de contaminants, tout en obtenant des revêtements uniformes et de qualité.