Occasion CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9177921 à vendre en France

CANON I-1060SV2 + 1 est un équipement de pulvérisation à usages multiples conçu pour des applications de dépôt en couches minces. Il est utilisé pour déposer une variété de métaux, alliages, oxydes, nitrures et autres matériaux sur des substrats afin de créer des films minces aux propriétés souhaitées. Le système se compose de plusieurs composants dont une chambre à vide, une puissante source de pulvérisation magnétron, un support de substrat rotatif pour un dépôt uniforme, une unité de distribution de gaz et un contrôleur de processus complet pour surveiller et contrôler la machine. La chambre à vide est construite en acier inoxydable et a un design cylindrique avec un insert de cible de pulvérisation de tête de douche intégrée. Il dispose d'un viseur interne pour surveiller les chambres de pulvérisation et a une plage de pression variable de 10-3 à 10-8 torr avec une pression de base de 10-9 torr. La source de pulvérisation magnétron est composée de deux lampes halogènes de grande puissance avec une puissance de sortie maximale de 20kw. Il a un taux d'ionisation élevé et offre une large gamme de matériaux à pulvériser. Le porte-substrat tournant peut être programmé pour tourner à une vitesse réglable de 0,2 à 10 tr/min pour créer un dépôt uniforme sur l'ensemble du substrat. L'outil comporte également une fonction d'oscillation pour une plus grande homogénéité. L'actif de distribution de gaz est utilisé pour introduire du gaz dans la chambre pour les paramètres de traitement désirés. Le modèle a un débit de gaz de 0-100sccm, avec une pression totale de gaz de 10-3 à 10-8 torr. L'équipement ANELVA I-1060SV2 + 1 dispose d'un contrôleur de processus efficace pour surveiller les paramètres et modifier les paramètres pendant le fonctionnement. Cela comprend un indicateur de pression de chambre programmable, un indicateur de température et un indicateur de tension d'alimentation. Le système comporte également des alarmes de surpression et de température avec interrupteurs électriques de protection contre l'interférence. Dans l'ensemble, CANON/ANELVA I-1060SV2 + 1 est une unité de pulvérisation avancée conçue pour fournir des performances fiables et un dépôt efficace. Il utilise une technologie innovante pour offrir aux utilisateurs la machine la plus moderne disponible. La vaste gamme de caractéristiques et de composants en font un outil idéal pour les applications de recherche et de production dans l'industrie du dépôt de couches minces.