Occasion CANON / ANELVA ILC-1012 MKII #9144933 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC-1012 MKII est un système de pulvérisation à courant continu conçu pour les applications de dépôt en couches minces. CANON ILC-1012 MKII dispose d'une technologie de dépôt physique en phase vapeur (PVD) ionisée, qui permet un revêtement précis et cohérent des substrats avec une large gamme de matériaux. Le système se compose d'une chambre à vide, d'un robinet de pulvérisation, d'une cathode de grande puissance, d'un générateur de plasma RF et d'une source d'ions pour une gravure renforcée du faisceau d'ions. La chambre à vide d'ANELVA ILC-1012 MKII est conçue pour maintenir un vide élevé de 10e-4 Torr. Il est isolé avec de la fibre céramique et de l'oxyde d'aluminium, offrant une excellente résistance aux chocs thermiques et l'uniformité. La cible de pulvérisation a été conçue pour minimiser l'érosion cible et maximiser le taux de dépôt, avec un taux de pulvérisation allant jusqu'à 300 - 700 nm/min pour l'or, le chrome, l'acier, le tungstène, l'aluminium et d'autres métaux. ILC-1012 MKII dispose également d'une cathode de forte puissance qui produit une densité de puissance uniforme à la zone cible, équipée d'une alimentation en courant continu régulée en fréquence. Ceci fournit la puissance électrique uniforme pour assurer un traitement cohérent et précis. Le générateur de plasma RF produit une décharge lumineuse très uniforme sur la zone cible. Le générateur RF dispose également d'un contrôle de fréquence programmable de 1MHz à 60MHz, pour assurer un contrôle précis de la densité de puissance et de l'épaisseur du film. CANON/ANELVA ILC-1012 MKII dispose également d'une source d'ions pour la gravure par faisceau d'ions de grande puissance et le dépôt assisté par ions (IAD). Ceci vaporise et ionise le matériau cible sans introduire de gaz de gravure réactifs et produit un champ magnétique uniforme pour balayer les ions plasma de la zone cible. La source d'ions dispose également d'une tension d'accélération réglable de 50V à 1500V, permettant une puissance de gravure variable de 0,1 watt à 30 watts. CANON ILC-1012 MKII est un puissant système de pulvérisation, conçu pour produire des films minces uniformes avec une érosion minimale de la cible. Il est parfait pour une large gamme d'applications de dépôt en couches minces, y compris les couches minces d'oxyde, les couches ferroélectriques, les couches semi-conductrices et les couches diélectriques. Ses caractéristiques avancées permettent un contrôle précis du dépôt du film.