Occasion CANON / ANELVA ILC-1013 #9144935 à vendre en France

CANON / ANELVA ILC-1013
ID: 9144935
Taille de la plaquette: 5"
Sputtering systems, 5".
CANON/ANELVA ILC-1013 est un équipement de pulvérisation spécialement conçu pour le dépôt de couches minces de nanomètre, ce qui le rend idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et la réalisation de couches minces multicouches. C'est un système de pulvérisation magnétron qui utilise une cible magnétron pour libérer un champ magnétique de forte puissance sur une surface cible pour une pulvérisation efficace et précise. CANON ILC-1013 est conçu pour le contrôle précis de l'épaisseur de la couche et peut déposer des couches de matériau qui ne sont que quelques nanomètres d'épaisseur. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive pour une configuration facile, et de plusieurs fonctions pour le dépôt automatisé. ANELVA ILC-1013 utilise une configuration cathodique à un barillet et peut être utilisé pour déposer des films sur un large éventail de substrats de film. Il dispose de deux températures de chambre indépendantes et programmables, ainsi que d'une fonction de contrôle de température de porte-substrat de haute précision pour une stabilité optimale du substrat. L'unité utilise une machine d'analyse avancée pour la surveillance in situ du processus de dépôt du film. ILC-1013 comprend deux pistolets de pulvérisation, qui sont conçus pour faciliter l'échange de cibles et un degré élevé de répétabilité. Les pistolets peuvent être configurés pour la pulvérisation à un ou deux composants, ce qui permet à l'utilisateur de choisir le meilleur mode selon les exigences de l'application. L'outil dispose également d'un contrôleur indépendant pour chaque pistolet, qui permet aux utilisateurs de programmer des recettes personnalisées pour chaque pistolet et d'ajuster les paramètres de pulvérisation en temps réel. L'actif de pulvérisation de CANON/ANELVA ILC-1013 est conçu pour répondre à diverses exigences en matière de dépôt de films. Il dispose d'une taille de chambre typiquement capable de recevoir des substrats de 4 «, et d'un porte-substrat rotatif optionnel qui permet de traiter jusqu'à 6 » de substrats. En outre, le modèle comprend un équipement de débit de gaz réglable et un contrôleur de niveau de vide pour le contrôle automatique du niveau de vide pour assurer un dépôt de film précis et répétable. Dans l'ensemble, CANON ILC-1013 est un système de pulvérisation par pulvérisation bien conçu qui permet à l'utilisateur de contrôler avec précision l'épaisseur des couches et la programmation de recettes personnalisées pour des résultats de dépôt avancés. De son champ magnétique de forte puissance à son interface utilisateur intuitive et au contrôle de la température du support de substrat, ANELVA ILC-1013 peut aider à rationaliser le processus de dépôt de couches minces et obtenir des résultats supérieurs dans un large éventail d'applications.
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