Occasion CANON / ANELVA ILC 1015 #9302490 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC-1015 est un équipement de pulvérisation équipé d'un régulateur de débit massique, d'un système de dépression et d'une alimentation électrique. Cette unité est conçue pour des applications de pulvérisation telles que le dépôt de couches minces, la fabrication de micro-dispositifs et le nettoyage de substrat. La machine se compose de deux composants principaux : la chambre et la plate-forme d'alimentation. La chambre est composée d'une chambre à vide, d'une source de dépôt et d'un étage de substrat. La chambre à vide est en acier inoxydable et a un design de bocal de cloche qui permet un accès facile aux substrats. La source de dépôt est constituée d'une seule alimentation cible avec jusqu'à quatre sources de pulvérisation indépendantes montées sur la porte de chambre. L'étage du substrat est réglable et peut accueillir jusqu'à 200mmx200mm de substrats. La plate-forme d'alimentation de CANON ILC-1015 est conçue pour fournir un contrôle de puissance flexible et précis des sources de pulvérisation, permettant un dépôt précis de couches minces. La plate-forme se compose de trois types d'alimentations : une alimentation en courant continu (DC) pour le contrôle de la tension continue, une alimentation en modulation de largeur d'impulsion (PWM) pour le contrôle du PWM de la source de pulvérisation, et une alimentation RF. La puissance de pulvérisation peut être ajustée à partir de 0-5kW, permettant le dépôt de couches épaisses et créant des grappes sphériques uniformes d'atomes. L'outil peut être utilisé en mode manuel ou automatique. En mode manuel, l'utilisateur peut contrôler les paramètres de la chambre tels que la pression, la température et la puissance RF. En mode automatique, l'actif est programmé et exploité via un ordinateur personnel (PC). L'utilisateur peut également utiliser différents capteurs pour mesurer la vitesse de dépôt et la température du substrat. ANELVA ILC-1015 est un modèle de pulvérisation perfectionné conçu pour permettre un dépôt précis et précis de couches minces. Il convient à la fabrication de micro-dispositifs, à la gravure de pulvérisateurs et à d'autres applications de pulvérisation. Grâce à sa plate-forme d'alimentation avancée et à son fonctionnement convivial, ILC-1015 peut aider les chercheurs à obtenir les résultats souhaités rapidement et efficacement.