Occasion CANON / ANELVA ILC 1051 MKII #9390490 à vendre en France
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ID: 9390490
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1991
Sputtering system, 6"
1991 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1051 MKII est un équipement de pulvérisation utilisé dans les processus physiques de dépôt en phase vapeur. La pulvérisation est un procédé utilisé pour créer des films minces sur des matériaux, typiquement des films métalliques sur des surfaces. Ce système de pulvérisation est alimenté par une source d'ions multi-plasma et est spécifiquement conçu pour fournir une qualité de surface supérieure et un taux de dépôt élevé. CANON ILC 1051 MKII dispose d'une chambre à vide composée d'acier inoxydable et d'un volume d'environ 260 litres. Il est équipé d'un moteur linéaire à quatre axes, permettant un dépôt précis des pulvérisateurs tridimensionnels. L'unité est également équipée d'une chambre de verrouillage de charge et d'une pompe d'échappement, qui sert à évacuer rapidement la chambre pour des cycles de processus efficaces. Pour la pulvérisation, ANELVA ILC-1051 MKII utilise jusqu'à quatre cathodes, permettant le dépôt de plusieurs films simultanément. Chaque cathode est composée du matériau cible à pulvériser, et la machine est équipée d'une alimentation réglable capable de délivrer jusqu'à 4500 watts à chaque cathode. L'outil est également équipé d'alimentations radio-fréquence à fréquence variable (RF) réglables pour la pulvérisation à haute fréquence, ce qui contribue à promouvoir des taux de dépôt élevés et une épaisseur uniforme de la couche. ILC-1051 MKII est capable d'exécuter divers processus de pulvérisation, y compris la pulvérisation à haut et à bas débit, la pulvérisation directe, angulaire et double, ainsi que la pulvérisation cathodique tournante. L'actif dispose également d'un plan médian mobile, permettant le dépôt de films sur des substrats de différentes tailles et formes. ILC 1051 MKII est équipé d'un contrôleur intelligent qui surveille et contrôle le processus de pulvérisation. Ce contrôleur comprend un écran tactile, des boutons programmables et des indicateurs d'état qui permettent aux opérateurs de surveiller le processus de pulvérisation en temps réel et d'ajuster les paramètres en conséquence. Le contrôleur comprend également un lecteur de codes-barres pour une intégration transparente dans les systèmes de pulvérisation automatisée. En conclusion, CANON/ANELVA ILC-1051 MKII est un modèle fiable de pulvérisation qui offre une qualité de surface supérieure et un taux de dépôt élevé. Cet équipement est équipé d'une source d'ions multi-plasma, d'une alimentation électrique réglable de 4500 watts et d'un plan médian mobile qui permet le dépôt de films sur des substrats de différentes tailles et formes. Le système est également équipé d'un contrôleur intelligent qui permet aux opérateurs de surveiller et de contrôler le processus de pulvérisation en temps réel et d'ajuster les paramètres en conséquence.
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