Occasion CANON / ANELVA ILC 1051 #293740222 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC 1051 est un équipement de pulvérisation destiné à déposer des couches minces de matière sur divers substrats. Ce système est largement utilisé dans la recherche et le développement, les laboratoires industriels et universitaires, et a été largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour déposer des couches diélectriques et métalliques sur la surface des plaquettes de silicium et d'arséniure de gallium. CANON ILC 1051 est une unité de pulvérisation qui utilise un pistolet magnétron pour déposer des couches minces de matière sur la surface d'un substrat. Le pistolet pulvérisateur utilise un courant continu (DC) et une puissance radio-fréquence réactive (RF) pour vaporiser les matériaux cibles et les déposer sur un substrat. La machine dispose d'une chambre à vide à quartz équipée d'un support de substrat, d'un ensemble d'aimants permanents multipolaires et de jauges ioniques pour mesurer la pression et la température à l'intérieur de la chambre. Le porte-substrat est conçu pour maintenir les substrats jusqu'à 9,8 pouces de diamètre. Les sources d'énergie en courant continu et RF peuvent être ajustées individuellement pour fournir la vitesse et la qualité de dépôt optimales. Les aimants produisent un champ magnétique uniforme qui contribue à réduire le plasma de fond et à améliorer l'uniformité des couches déposées. L'outil possède un certain nombre de caractéristiques utiles qui le rendent adapté à une large gamme d'applications. Il comprend une cible intégrée refroidie à l'eau, permettant une durée de vie prolongée de la cible, ainsi qu'un module de gravure de l'oxygène pour le nettoyage ou la gravure des substrats avant le dépôt. Il comprend également un actif d'obturation intégré pour une meilleure protection contre les particules et contaminants externes. ANELVA ILC-1051 possède un haut degré de contrôlabilité, permettant des dépôts précis et reproductibles. La combinaison des sources d'énergie dc et RF offre un degré élevé de flexibilité dans le processus de dépôt, avec la capacité de contrôler la vitesse et l'épaisseur du dépôt, l'uniformité et la composition. Le modèle est également capable d'alimenter différents gaz réactifs pour différents types de dépôts. CANON ILC-1051 est l'équipement de dépôt idéal pour les applications nécessitant les plus hauts niveaux de contrôle et de précision. Il fournit une excellente uniformité de dépôt et peut être utilisé pour créer des couches de haute qualité pour un large éventail d'applications.