Occasion CANON / ANELVA ILC 1051 #9156540 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC 1051 est un outil de procédé avancé et de haute précision capable de déposer des films minces avec une excellente couverture uniforme et une couverture d'étape pour la fabrication de circuits intégrés, de stockage de données et d'autres dispositifs de haute technologie. Le CANON ILC 1051 est équipé d'un système de pulvérisation intégré avec une chambre de verrouillage de charge, des alimentations RF/DC intégrées, une unité à vide élevé et une cathode magnétron plane inclinable pour la pulvérisation magnétron à courant continu. De plus, la machine est équipée d'une polarisation RF basse pression de 3 MHz, fournissant une puissance de bombardement contrôlable pour favoriser le processus de pulvérisation. La puissance RF basse pression améliore l'uniformité du dépôt pulvérisé et augmente la résistance du film aux dommages thermiques. La cathode plane inclinable peut atteindre une température allant jusqu'à 150 ° C pour créer une surface plus propre pour le processus de dépôt. ANELVA ILC-1051 utilise la technologie « double arc » avec des arcs réglables individuellement pour fournir des résultats de pulvérisation homogènes et reproductibles. Cette technique fait appel à deux arcs tournants, ce qui permet d'augmenter le débit et d'améliorer la qualité du procédé. Avec la technologie à double arc, la distance entre les arcs peut être ajustée avec précision pour permettre le dépôt de couches très minces. De plus, CANON/ANELVA ILC-1051 est équipé d'une technologie d'accélération ionique unique qui aide à améliorer la qualité du film, l'adhérence et la résistance à la gravure. En outre, l'outil de pulvérisation électrique ANELVA ILC 1051 est conçu avec un contrôleur de processus à grande vitesse, comprenant une alimentation en courant continu, une alimentation RF, un actif à vide élevé et d'autres commandes, ainsi que plusieurs systèmes de sécurité pour une fiabilité maximale du processus et un fonctionnement sans entretien. Il comprend également une variété de caractéristiques conçues pour offrir une meilleure précision de processus, une capacité de réglage fin, une maintenance simplifiée, une sécurité améliorée et une réduction des temps d'arrêt. ILC-1051 contrôleur fonctionne également en mode autosurveillance et enregistre les données pour chaque processus afin d'assurer une épaisseur de couche cohérente sur tout le dépôt. En conclusion, ILC 1051 est un modèle puissant conçu avec des caractéristiques avancées, précises et fiables pour la fabrication d'appareils de haute technologie. Il dispose d'une technologie à double arc avec des arcs réglables individuellement pour améliorer la qualité du processus, une technologie d'accélération ionique pour améliorer l'adhérence du film et la résistance à la gravure, ainsi qu'un contrôleur haute vitesse avec des capacités de surveillance et des systèmes de sécurité avancés.