Occasion CANON / ANELVA ILC 1051 #9220287 à vendre en France

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CANON / ANELVA ILC 1051
Vendu
ID: 9220287
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6" Missing parts: Air booster Compressor.
CANON/ANELVA ILC 1051 est un système avancé et performant utilisé dans les domaines industriel et de la recherche pour le dépôt de couches minces. Il s'agit d'une unité de pulvérisation réactive à plusieurs axes contrôlée par ordinateur (CCEMMRS) avec une source d'ions multi-axes et un étage d'échantillonnage multi-axes. La machine est conçue pour le dépôt précis et répétable de couches minces en créant un environnement dans lequel les ions et les neutrons interagissent avec le substrat pour former une couche mince. L'outil a une vitesse de pulvérisation maximale de 100 nanomètres par seconde (nm/s) et la capacité de déposer une large gamme de matériaux. CANON ILC 1051 actif est équipé d'une source d'ions multi-axes et d'un étage d'échantillonnage multi-axes, permettant un contrôle précis de la direction et de l'intensité des faisceaux d'ions. Le modèle comprend une alimentation en gaz réactif, un équipement d'échappement et un système d'acquisition de données contrôlé par ordinateur. L'unité a une vitesse de pulvérisation maximale de 100 nm/s et la capacité de déposer un large éventail de matériaux tels que les métaux, les alliages et les composés. La machine permet de contrôler l'énergie, l'angle d'incidence et la focalisation des faisceaux d'ions pour obtenir des couches déposées très uniformes. L'outil est composé de composants mécaniques et commandés par ordinateur. Les composants mécaniques comprennent un étage d'échantillonnage, une source d'ions, un actif d'échappement et une source de gaz réactifs. La source d'ions est utilisée pour générer le faisceau d'ions tandis que l'étage d'échantillon est utilisé pour déplacer le substrat à pulvériser. L'alimentation en gaz réactifs permet d'ajouter des gaz réactifs au processus tandis que le modèle d'échappement est utilisé pour recueillir les particules libérées. Les composants contrôlés par ordinateur comprennent un équipement d'acquisition de données qui fournit des commentaires et des données sur le processus de pulvérisation pour la surveillance et le contrôle des processus. Système de pulvérisation ANELVA ILC-1051 est une unité de qualité industrielle qui est capable de produire des films minces uniformes et de haute qualité avec un excellent contrôle de l'énergie, de l'angle d'incidence et de la focalisation du faisceau d'ions. La machine est un outil de pulvérisation électrolytique et mécanique réactive à commande informatique multi-axes qui permet le dépôt précis de matériaux sur une large gamme de substrats. L'actif offre un contrôle précis du procédé de pulvérisation, permettant le dépôt de couches minces de haute qualité avec une excellente uniformité et adhérence.
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