Occasion CANON / ANELVA ILC 1051 #9257784 à vendre en France

CANON / ANELVA ILC 1051
ID: 9257784
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering system, 6".
CANON/ANELVA ILC 1051 est un système de pulvérisation électro-magnétron conçu pour le dépôt de couches minces. C'est une unité industrielle automatisée haute performance et haute précision qui offre une excellente homogénéité et répétabilité des films minces. CANON ILC 1051 peut déposer des métaux, des oxydes et des nitrures en deux et trois étapes. Il est adapté à une large gamme de matériaux et peut déposer des films dans une large gamme d'épaisseurs, des couches très minces aux films épais. Il dispose d'une chambre à plasma de haute pureté et d'un environnement sous vide ultra-élevé avec une machine de contrôle de la contamination inégalée. Cet outil de pulvérisation est contrôlé par une table X-Y avancée, qui permet un positionnement précis des cibles de pulvérisation et du substrat. ANELVA ILC-1051 dispose d'un actif z-anais réglable, qui permet de déposer des films minces sur des surfaces courbes. Il est équipé d'un modèle de refroidissement avancé, fournissant le contrôle thermique nécessaire à la fois pour la cible de pulvérisation et le substrat. CANON ILC-1051 possède un large éventail de composants, y compris des cibles inclinables, des régulateurs de débit massique indépendants, des régulateurs de température et un générateur de plasma automatisé qui fournit la puissance du processus de pulvérisation. Il est également équipé de systèmes de diagnostic contrôlés par ordinateur pour surveiller à la fois le processus de pulvérisation et le film déposé. Une des caractéristiques uniques de cet équipement de pulvérisation est son système d'analyse laser avancé, qui peut fournir des données détaillées sur la composition et la structure du film déposé. Cette unité peut également être utilisée pour mesurer les hauteurs d'étapes et les épaisseurs de couches ainsi que pour surveiller les caractéristiques de dépôt in situ. CANON/ANELVA ILC-1051 est très automatisé et facile à utiliser même pour les utilisateurs ayant une expérience préalable limitée. Il peut être configuré pour répondre aux besoins de l'utilisateur, et sa conception modulaire permet une facilité de maintenance et de mise à niveau. C'est une machine fiable, et ses performances et sa qualité exceptionnelles en font un excellent choix pour la recherche, le développement et l'utilisation industrielle.
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