Occasion CANON / ANELVA ILC 1051 #9269411 à vendre en France

CANON / ANELVA ILC 1051
ID: 9269411
Taille de la plaquette: 6"
Sputtering systems, 6".
CANON/ANELVA ILC 1051 est un équipement de pulvérisation thermique conçu pour assurer un dépôt précis et de haute qualité de divers matériaux sur divers substrats. Le système offre une large gamme de technologies de pulvérisation, telles que la pulvérisation magnétron à courant continu, la pulvérisation par diode RF et le dépôt ionique à courant continu, ce qui permet un dépôt en couche mince de haute précision avec des propriétés et des performances supérieures. L'unité se compose d'une alimentation en courant continu compacte mais puissante, d'un réseau de trois pistolets pulvérisateurs et d'une chambre à vide avec une plage de pression réglable comprise entre 1 x 10⁻¹³ Torr et la pression atmosphérique. Outre la chambre à vide, les composants principaux de la machine sont intégrés sur une plate-forme unique permettant une faible empreinte tout en offrant un environnement robuste capable de résister aux hautes températures et pressions impliquées dans les procédés de pulvérisation. L'alimentation en courant continu est capable de délivrer jusqu'à 0.5kW par pistolet en mode courant ou jusqu'à 500W par pistolet en mode tension pour une plus grande précision et des taux de dépôt plus élevés. Les pistolets pulvérisateurs eux-mêmes sont une conception innovante qui utilise des champs magnétiques intérieurs générés par une bobine électromagnétique pour optimiser la focalisation plasma et une plus grande uniformité de dépôt. La bobine intérieure peut également être alimentée avec une fréquence RF supplémentaire pour augmenter la vitesse de dépôt des matériaux réactifs. L'intérieur de la chambre à vide est rempli de capteurs pour surveiller la pression, la température et la composition des matériaux. Jusqu'à trois pistolets pulvérisateurs peuvent être installés pour le dépôt simultané de matériaux multiples sur plusieurs substrats, permettant la fabrication de produits en couches. CANON ILC 1051 est l'un des systèmes de pulvérisation les plus avancés disponibles aujourd'hui. Sa combinaison de technologies de pointe, d'un large éventail de matériaux de dépôt et de plates-formes automatisées permet des taux de dépôt jusqu'à 4 fois plus rapides que les systèmes standard et avec des propriétés physiques et chimiques supérieures. Avec une grande précision et uniformité, et la capacité de déposer plusieurs matériaux sur plusieurs substrats, cet outil est l'outil optimal pour la production de pièces et produits pulvérisés de haute qualité.
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