Occasion CANON / ANELVA ILC 1060 #293643632 à vendre en France

CANON/ANELVA ILC-1060 est un équipement de pulvérisation utilisé pour déposer des couches minces de métal ou d'autres matériaux sur un substrat. Ce système est une unité à deux chambres comprenant une chambre de serrure, une source de puissance haute fréquence, et une chambre de pulvérisation magnétron. La chambre de serrure permet de charger et décharger le substrat sans l'exposer à l'environnement, en maintenant un vide élevé dans la chambre de pulvérisation. La source de puissance haute fréquence est utilisée pour faire émettre par les magnétrons ou autres sources de pulvérisation de la machine un plasma sur la surface du matériau cible à pulvériser. Ce plasma est composé de particules ionisées excitées électriquement, qui bombardent le matériau cible, d'atomes de délogement et de molécules qui sont ensuite déposées sur le substrat en couche mince. La chambre où a lieu la pulvérisation magnétron est constituée d'une source d'énergie RF, d'une pompe à vide et d'un outil à gaz circulant. La puissance RF de 10 000 watts peut être utilisée pour atteindre une pression maximale de 3 x 10-3 Pa, assurant une pulvérisation régulière du matériau cible sur le substrat. La pompe à vide est utilisée pour maintenir une pression constante dans la chambre, et l'actif gazeux en circulation assure une ionisation uniforme sur le substrat. Le modèle CANON ILC-1060 est capable de pulvériser une variété de matériaux sur une large gamme de substrats, ce qui le rend adapté à une gamme d'applications telles que la fabrication de circuits intégrés. L'équipement comprend également des outils de diagnostic qui permettent à l'utilisateur de surveiller le processus de dépôt, permettant d'ajuster des paramètres précis pour répondre aux exigences spécifiques d'application. En outre, ce système est facilement extensible, permettant des sources de pulvérisation multiples, et a une faible exigence de maintenance.