Occasion CANON / ANELVA ILC 1060 #293643642 à vendre en France

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 293643642
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1993
PVD Sputtering system, 8" 1993 vintage.
L'équipement de pulvérisation CANON/ANELVA ILC-1060 est un système de pulvérisation polyvalent et efficace pour la production et le dépôt de matériaux à couches minces. Il est construit sur une conception modulaire, avec des alimentations multiples, des radiateurs et des cibles de pulvérisation. L'unité surpasse d'autres systèmes similaires en termes de vitesse et de performance, permettant un traitement plus rapide et une plus grande précision. La chambre à cloches en acier inoxydable est capable de recevoir une variété de configurations, y compris des cibles à double dépôt et planaires. CANON ILC-1060 dispose de plusieurs systèmes de contrôle de mouvement à double axe qui permettent de contrôler le dépôt avec précision, ainsi que d'une machine de contrôle de la planéité optique à haute résolution qui assure l'uniformité du dépôt en couches minces. Les systèmes intégrés de contrôle des procédés de l'outil surveillent le processus de dépôt et assurent des résultats optimaux et cohérents. L'actif de chauffage du substrat est capable de délivrer de la chaleur jusqu'à 1500C, ce qui le rend adapté au traitement d'une large gamme de matériaux à couches minces. ANELVA ILC 1060 est équipé d'un modèle de distribution de gaz à quatre canaux, permettant d'introduire jusqu'à quatre gaz dans la chambre, permettant une variété de procédés et de configurations. L'équipement dispose également d'un système numérique de contrôle des gaz sous pression qui peut être réglé pour le contrôle des processus à basse ou haute pression, permettant un dépôt précis et uniforme. CANON/ANELVA ILC 1060 comprend également des capacités de diagnostic à l'unité complète, ce qui permet aux utilisateurs de surveiller et de diagnostiquer tout problème ou écart potentiel pendant l'exploitation. Il dispose également d'une gestion automatisée des recettes, permettant aux utilisateurs de passer rapidement et facilement entre diverses recettes de processus sans régler manuellement chaque paramètre à chaque fois. ANELVA ILC-1060 est une machine à pulvériser fiable, puissante et efficace, permettant aux utilisateurs de produire et de déposer des matériaux en couches minces avec rapidité et précision. Sa conception modulaire, son contrôle du mouvement à deux axes et ses capacités de diagnostic complètes en font un outil de qualité supérieure pour une large gamme d'applications de dépôt de couches minces.
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