Occasion CANON / ANELVA ILC 1060 #9248133 à vendre en France

ID: 9248133
Style Vintage: 2000
Sputtering system Missing parts 2000 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1060 est un équipement de pulvérisation destiné à diverses applications scientifiques et industrielles. C'est un système sous vide piloté par ordinateur qui utilise le dépôt physique en phase vapeur pour déposer des couches minces et uniformes de matière sur un substrat. CANON ILC 1060 est très adaptatif et peut être programmé pour manipuler avec précision la composition de la cible de pulvérisation et le courant, la vitesse de dépôt, la fluence, le biais du substrat et d'autres variables. Sa conception modulaire permet un haut débit de production, et son contrôle de processus et l'automatisation supérieure permettent des résultats reproductibles et prévisibles. Les composants primaires d'ANELVA ILC-1060 comprennent une source de pulvérisation rotative, un support de substrat et une cible rotative. La source rotative de pulvérisation utilise deux canons, chacun capable de se décharger en arc et en courant continu. Le porte-substrat, qui peut accueillir jusqu'à 450 mm de substrats, peut contenir jusqu'à quatre substrats à la fois. La face de pulvérisation rotative de la cible peut contenir des cibles de pulvérisation jusqu'à 200mm de diamètre. Une cible et un plateau optionnels montés en angle sont disponibles pour une couverture étendue de la zone cible. ILC-1060 offre une variété de procédés de pulvérisation, y compris le plasma d'argon et la pulvérisation de gaz réactif, et son contrôle de processus est très réglable pour répondre aux besoins de divers utilisateurs finaux. Un module de contrôle primaire peut être programmé pour manipuler avec précision la composition de la cible de pulvérisation et le courant, la vitesse de dépôt, la fluence et la polarisation du substrat. Le module de commande secondaire optionnel permet de manipuler des paramètres de processus tels que le débit de gaz réactif, la pression de la chambre et l'épaisseur de la couche. Ce module peut être verrouillé pour éviter toute manipulation non autorisée. CANON ILC-1060 est à la fois flexible et économique, ce qui en fait un choix attrayant pour de nombreuses applications. Son empreinte compacte et sa conception économe en énergie minimisent les besoins en espace et maximisent les économies. Les systèmes de sécurité de haut niveau et le contrôle statistique automatique des processus maintiennent la qualité et la fiabilité de la production. À la fin de la séquence de processus, une unité de vision post-processus inspecte les parties terminées pour déceler les éventuelles erreurs de processus et s'assure de leur exactitude. Dans l'ensemble, ILC 1060 est une machine à pulvériser de pointe qui est bien adaptée à un large éventail d'applications scientifiques et industrielles. Ses performances fiables, son contrôle supérieur des processus et ses réglages réglables en font un excellent choix pour le dépôt précis et efficace de couches minces de matériau sur des substrats ou des plaquettes.
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