Occasion CANON / ANELVA L-210H-WS #9055191 à vendre en France
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ID: 9055191
Style Vintage: 2000
Dry etcher
Load lock type
Method: RIE
Pumping system:(2) R/P, (1) TMP
Gases: O2, CF4, Ar, CHF3, C4F8, SF8
2000 vintage.
L'équipement de pulvérisation par pulvérisation CANON/ANELVA L-210H-WS est un outil de dépôt polyvalent pour le dépôt de matériaux en couches minces sur des substrats. Le système de pulvérisation est constitué de deux sources magnétron de grande puissance et d'un seul étage de travail. Les sources magnétron génèrent des électrons accélérés par une alimentation haute tension. Les électrons accélérés bombardent alors un matériau cible, transférant du matériau vers le substrat à travers des particules ionisées, ce qui aboutit à un substrat enrobé de couches minces. CANON L-210H-WS est équipé de deux sources de pulvérisation magnétron RF et possède une chambre d'évacuation avec une pression maximale de 10-4 Pa. La machine a une plage de température de 25 ° C à 350 ° C, et dispose de réglages réglables de pression, de puissance et de tension. Il comprend un outil de filtration des poussières pour aider à protéger l'actif contre les contaminants, ainsi qu'un modèle de refroidissement intégré pour assurer un fonctionnement sûr et efficace. Les équipements de pulvérisation ANELVA L-210H-WS peuvent être utilisés pour un large éventail d'applications, y compris, mais pas exclusivement, les couches minces d'oxyde de silicium/nitrure de silicium/carbure de silicium (SiOx/SiNx/SiCx), le dépôt d'oxyde de cuivre (CuO), d'étain de cuivre (CuSn), d'oxyde de titane (TiO2) et de chrome (plus). Ce système de pulvérisation est également capable de déposer des métaux et des conducteurs, tels que l'aluminium (Al), le cuivre (Cu) et le nickel (Ni), pour former différentes couches. L-210H-WS pulvérisateur est une machine de haute technologie et de haute performance qui est conçue pour être intuitive, facile à utiliser et fiable. L'outil intègre les dernières technologies telles que le fonctionnement à distance du joystick, l'équipement d'évacuation de chambre haute performance, la programmation de recette programmable, la fonction d'alarme de défaut, et un entretien facile. En outre, le modèle fournit un contrôle précis des processus pour les résultats reproductibles, assurant un dépôt fiable et cohérent des couches minces. Dans l'ensemble, l'équipement de pulvérisation par pulvérisation CANON/ANELVA L-210H-WS est un outil de dépôt avancé et puissant pour déposer des films sur des substrats, permettant une qualité supérieure des couches minces, une haute résolution et un contrôle précis des procédés. Il convient à la recherche et au développement, à la métrologie, au prototypage rapide et aux applications nanotechnologiques en raison de ses capacités de haute performance. Son interface conviviale intuitive et ses fonctionnalités avancées en font un excellent choix pour tous les types d'applications de dépôt de couches minces.
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