Occasion CANON / ANELVA L-400EK-L #9372506 à vendre en France
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ID: 9372506
Style Vintage: 2002
Deposition system
Water volume: 0.3MPa 9L / min
Pneumatic pressure: 0.55MPa
Power supply: 200 V, 3 Phase, 50/60 Hz, 60 A
2002 vintage.
CANON/ANELVA L-400EK-L est un équipement de pulvérisation automatique conçu pour une production à grande échelle qui combine une technologie de dépôt par pulvérisation de haute précision et une chambre à vide sophistiquée en un seul système efficace. Sa conception avancée offre une excellente uniformité des couches minces déposées à des taux de dépôt très élevés avec un faible taux de fuite de la chambre, une fiabilité extrême et des coûts d'entretien faibles. L'unité de pulvérisation de CANON L-400EK-L se compose de quatre composants principaux : la chambre de pulvérisation, la source de pulvérisation, la machine à vide et l'outil de contrôle du procédé. La chambre à vide est en acier inoxydable et est capable d'atteindre un vide ultra-élevé, permettant le dépôt efficace de films ultra-minces. La chambre de procédé est équipée d'une pompe avant, d'une pompe à rugosité, d'une source d'ions et d'une turbomachine. La pompe avant de grande capacité permet de réduire le vide au niveau de fonctionnement requis rapidement, tandis que la pompe à rugosité maintient une pression constante tout au long du processus. La source de pulvérisation est une source à courant continu de type atmosphérique avec une puissance maximale réglable jusqu'à 400kW. Il est équipé de jusqu'à 40 pistolets pulvérisateurs qui peuvent simultanément déposer des films minces sur divers substrats. Le procédé de pulvérisation est très reproductible et offre une excellente homogénéité sur la surface de l'échantillon. ANELVA L-400EK-L dispose d'un outil de contrôle automatisé pour la surveillance et le contrôle précis du processus de pulvérisation. Le modèle de contrôle sophistiqué vous permet de contrôler avec précision les paramètres et les conditions en fonction de vos valeurs souhaitées. L'équipement est également très adaptatif et peut s'adapter aux changements soudains des conditions de pulvérisation, assurant ainsi des dépôts uniformes et même. Dans l'ensemble, L-400EK-L système est une unité de pulvérisation efficace et fiable pour la production à grande échelle. Sa conception avancée et sa machine de commande sophistiquée la rendent idéale pour le dépôt de couches minces métalliques et semi-conductrices de haute précision à une excellente uniformité et vitesse de dépôt. Son excellent rapport coût-performance en fait l'un des systèmes de pulvérisation les plus populaires sur le marché aujourd'hui.
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