Occasion CANON / ANELVA L-410S-FHL #9156826 à vendre en France
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CANON/ANELVA L-410S-FHL est un équipement de pulvérisation utilisé principalement pour des applications physiques de dépôt en phase vapeur (PVD). Ce système de pulvérisation est constitué d'une chambre à vide qui utilise un procédé de gravure Langmuir-Hinshelwood à basse pression. Ceci afin de créer des couches minces et très homogènes de matériau sur des substrats tels que le verre, le silicium, les matières plastiques et les métaux. L'unité fonctionne en deux étapes : une chambre primaire avec un canon à électrons, et une chambre secondaire avec un canon de pulvérisation. La chambre primaire est équipée d'un canon à électrons et se compose d'une cloche acrylique qui est reliée à une pompe à vide. Le canon à électrons produit un faisceau d'électrons qui est utilisé pour déposer une couche mince d'un matériau. Ce faisceau est créé en appliquant une tension entre deux électrodes métalliques. La tension est généralement commandée par un moteur pas à pas. Les électrons sont accélérés puis entrent en collision avec les molécules du matériau cible, ce qui provoque leur décomposition et leur propulsion sur le substrat. Ce procédé conduit à une couche de revêtement conforme d'épaisseur égale sur toute la surface. La chambre secondaire contient un pistolet pulvérisateur et se compose d'un bocal en acrylique. Ce pistolet est utilisé pour pulvériser une deuxième couche mince de matériau sur le substrat. Le procédé est similaire au canon à électrons, mais le canon à pulvérisation est constitué de trois électrodes. Un matériau cible chargé négativement est placé sur l'anode (électrode chargée positivement). Lorsqu'une tension est appliquée entre l'anode et la cathode, des ions sont expulsés du matériau cible qui entrent alors en collision avec le substrat en y déposant une fine couche de matériau. Ce procédé conduit à une couverture uniforme avec un taux de dépôt très élevé. La machine à pulvériser CANON L-410S-FHL est utilisée dans diverses industries, telles que l'électronique, l'automobile et l'éclairage, pour sa couverture uniforme et ses conditions de dépôt doux. Cet outil assure la précision et la répétabilité d'une large gamme de dépôts de pulvérisateurs et de processus PVD.
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