Occasion CANON / ANELVA SPC-530H #9111244 à vendre en France

CANON/ANELVA SPC-530H est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour le dépôt de couches minces. Il est équipé d'une source d'alimentation radiofréquence (RF) de 500 W et d'une source d'alimentation à décharge basse pression à courant continu (DC). Le système CANON SPC-530H offre un excellent contrôle des processus grâce à une unité à microprocesseur temps réel qui surveille et contrôle les points de consigne pour la vitesse de pulvérisation, les conditions de décharge et le temps de séjour entre les cycles. L'alimentation électrique par pulvérisation électrique fonctionne sur une large gamme de fréquences (50-4 000 kHz) et est capable de traiter des substrats jusqu'à 8 "de diamètre. La machine ANELVA SPC-530H est conçue pour le dépôt rapide de pulvérisateurs et le transfert rapide de matériaux vers et depuis la chambre de pulvérisation. SPC-530H outil offre un large éventail de processus de pulvérisation dans un seul actif, y compris la gravure par faisceau d'ions, la gravure par ions réactifs, le dépôt de tensioactifs, l'évaporation et la pulvérisation magnétron. Sa flexibilité et son évolutivité permettent une large gamme de substrats et de paramètres de pulvérisation. Le modèle CANON/ANELVA SPC-530H comprend un équipement de contrôle de pression à chambre réglable qui permet un contrôle précis des paramètres du processus, tels que la vitesse de dépôt et l'épaisseur du film. De plus, le système CANON SPC-530H supporte des caractéristiques auto-propres et auto-sèche, qui facilitent des temps de dépôt plus longs et des taux de dépôt plus rapides. Unité ANELVA SPC-530H peut produire une large gamme de types de films, des films d'oxyde aux diélectriques semi-conducteurs à haute température. Son large éventail de procédés de pulvérisation permet d'affiner la vitesse de dépôt pour donner les résultats souhaités. En outre, SPC-530H machine dispose d'une option unique de chauffage de substrat à haute température, qui permet le dépôt de films avec des propriétés supérieures. De plus, l'outil supporte l'inspection optique en ligne, ce qui permet de contrôler la qualité des films produits. L'actif CANON/ANELVA SPC-530H est conçu pour une utilisation et une fiabilité à long terme. Son traitement en boucle fermée assure des mesures de précision et un contrôle serré des processus. Les procédures automatisées d'entretien et de nettoyage des chambres éliminent le besoin d'ajustements manuels et diminuent les coûts des processus. En outre, le logiciel convivial et l'interface graphique permettent un contrôle facile et efficace des fonctions du modèle. Dans l'ensemble, CANON SPC-530H est un équipement de pulvérisation électrique polyvalent et fiable conçu pour le dépôt de couches minces à haute performance. Sa large gamme de procédés de pulvérisation, accompagnée de fonctionnalités avancées telles que l'auto-nettoyage et l'auto-drifter, permet un dépôt rapide et précis de films minces avec une excellente reproductibilité. En outre, le système dispose d'une option unique de chauffage de substrat à haute température, qui facilite le dépôt de films à haute température avec des propriétés supérieures. L'unité supporte un dépôt rapide, ce qui le rend apte à la production de couches minces avec des résultats précis et reproductibles. De plus, son interface conviviale permet un contrôle rapide et facile des fonctions de la machine.