Occasion CANON / ANELVA SPF-210H #9284046 à vendre en France

L'équipement de pulvérisation de CANON/ANELVA SPF-210H est un système très efficace utilisé pour fabriquer des films minces, des oxydes et des structures multicouches. Il utilise une source d'énergie RF haute fréquence pour enrober un matériau cible avec un gaz inerte. Un biais continu est appliqué sur le substrat pour créer un film uniforme. CANON SPF-210H se compose d'une chambre principale, d'une cible, de deux sources d'alimentation, d'une source d'alimentation à polarisation continue, d'une source de décharge magnétron et d'une chambre à vide. La chambre principale est contrôlée en température pour assurer un dépôt uniforme du film. Le matériau cible, tel que l'aluminium ou autre métal, est maintenu en place dans la chambre de pulvérisation par des aimants performants, qui font office de bouteille magnétique. Cela permet une pulvérisation à grande surface et uniforme de la cible. La surface de la cible est bombardée par un signal RF haute fréquence qui provoque la pulvérisation, ou un détachement plasma de matériau cible. Le signal est généré par une source de décharge magnétron. L'alimentation en courant continu à quatre quadrants assure des taux de dépôt élevés. Les particules pulvérisées restent chargées et le biais DC sert d'accélérateur qui pousse les particules chargées dans le substrat. Le substrat est placé dans la chambre et les températures sont maintenues pour assurer un dépôt de film uniforme et robuste. La chambre est une chambre à vide qui est pompée jusqu'à 1 Torr afin de fournir un procédé de dépôt de film de haute qualité. ANELVA SPF-210H utilise également une unité de pompage à haut rendement pour maintenir la pression de la chambre pendant le processus de pulvérisation. De plus, le gaz injecté est bien mélangé et maintenu à un débit constant, produisant des films reproductibles et fiables. SPF-210H est idéal pour la fabrication de films d'oxyde et multicouches. C'est une machine à pulvériser compacte et facile à utiliser, qui nécessite peu d'entretien et est capable de produire des films uniformes et robustes sur de grandes surfaces sans avoir besoin de procédés de polissage compliqués. CANON/ANELVA SPF-210H est excellent pour de nombreuses applications, y compris la pulvérisation de divers métaux, des conducteurs transparents, des matériaux céramiques et des films optiquement minces.