Occasion CANON / ANELVA SPF-210H #9382541 à vendre en France

CANON/ANELVA SPF-210H est un équipement de pulvérisation à sec conçu pour les procédés de dépôt en couches minces. Le système est idéal pour des applications telles que la fabrication de composants optoélectroniques, d'écrans plats et de têtes magnétiques à couches minces. Cette unité de pulvérisation possède un 1,000-W amplificateur de puissance monofréquence capable de pulvériser une grande variété de matériaux. La machine est entourée d'une chambre à vide qui peut atteindre un niveau de vide de 10-6 Pa (10-7 Torr). De plus, CANON SPF-210H dispose d'un ensemble d'anodes entièrement automatisé, d'un étage d'échantillonnage comportant un mouvement à 2 axes, d'un générateur de radiofréquences (RF) et d'un moniteur à plasma. Tous ces composants sont contrôlés via une interface informatique. L'ensemble anodique est composé d'une tige centrale fixée dans la chambre et de 4 contre-électrodes. Il dispose également d'un mécanisme de refroidissement de l'eau qui aide à minimiser la production de particules. L'étage d'échantillonnage est monté sur un guide de mouvement linéaire et a une portée de 10 mm x 10 mm. Le générateur RF est constitué d'une bobine d'induction et d'un circuit couplé LC. Ceci permet à l'outil de pulvériser des matériaux avec un minimum d'endommagement du substrat ou du matériau déposé. Le moniteur plasma est capable de mesurer les paramètres plasmatiques tels que la densité de puissance, la température des électrons et la densité du nombre d'électrons. Cela aide l'actif à obtenir un profil de dépôt homogène. De plus, ANELVA SPF-210H est équipé d'un modèle de prévention des dommages à l'arc (ASDS). Cet équipement permet de protéger les échantillons de tout dommage possible en réduisant la tension d'arc et en évitant les arcs haute fréquence. SPF-210H est un système fiable et efficace de pulvérisation qui peut être utilisé pour divers processus de dépôt. Ses fonctionnalités automatisées et ses systèmes de surveillance avancés le rendent facile à utiliser et fournissent des résultats supérieurs. C'est la solution parfaite pour tout processus de dépôt en couches minces.