Occasion CANON / ANELVA SPF-312 #9299212 à vendre en France

CANON/ANELVA SPF-312 est un équipement de pulvérisation à fonctions multiples utilisé dans les techniques de dépôt en couches minces. Le système est conçu pour permettre un contrôle précis et efficace des processus de dépôt de couches minces, y compris la pulvérisation, l'évaporation et la pulvérisation réactive. CANON SPF-312 offre une variété de caractéristiques capables de fournir un contrôle supérieur des qualités du film, y compris l'épaisseur, la composition et l'uniformité. Cette unité de pulvérisation est équipée d'une cible cathodique rotative circulaire ou carrée de 300mm x 4 pouces de diamètre. La cible circulaire est chauffée et refroidie pour un contrôle plus précis de la qualité et de l'efficacité du film. La cible est entourée d'un champ magnétique en deux temps réglable pour permettre une vitesse de pulvérisation homogène. La vitesse de pulvérisation uniforme est obtenue grâce à la combinaison de sources DC et RF qui fournissent une puissance précise et uniforme à la cible. Le gaz utilisé dans ANELVA SPF-312 est choisi en fonction de l'application spécifique, et peut consister en Ar, Ar/O2, Ar/N2, Ar/O2/H2, ou tout gaz inerte avec des additifs supplémentaires. La machine dispose également d'une gamme complète de pression réglable au niveau du substrat, qui peut aller de quelques millitorrs à 1 torr. Cette large gamme de pressions réglables permet un contrôle précis de la pression lors du processus de dépôt. SPF-312 est équipé d'un outil de chicane qui peut être ajusté pour atteindre la turbulence pour une couverture plus uniforme de la cible. L'actif de chicane est également utilisé pour protéger contre l'érosion de la cible par le matériau évaporé. Le modèle est capable de taux de dépôt à haut débit jusqu'à 1000 Å/h, avec des uniformités de 5 % ou moins. Cet équipement de pulvérisation à fonctions multiples est conçu pour être utilisé dans une variété d'applications, telles que la fourniture de revêtements sur les paniers, les cellules solaires, les semi-conducteurs, l'affichage LCD et OLED, le verre, et divers matériaux céramiques. Il peut également être utilisé pour fabriquer des couches de métal et d'autres couches minces déposées sur des substrats en utilisant l'activation plasma appropriée. Le système peut également être utilisé pour réaliser plusieurs couches de couches minces tout en contrôlant l'épaisseur, la composition et les propriétés du film. Dans l'ensemble, CANON/ANELVA SPF-312 est une unité multifonctionnelle de pulvérisation avec une large gamme de caractéristiques et de capacités qui le rendent bien adapté au processus de dépôt en couches minces. Avec sa cathode réglable, son champ magnétique et sa pression réglable, c'est une machine à pulvériser fiable et robuste qui peut fournir une qualité de film supérieure et une uniformité.