Occasion CANON / ANELVA SPF-510 #9148249 à vendre en France

CANON/ANELVA SPF-510 est un équipement avancé de dépôt de couches minces conçu pour le dépôt par pulvérisation de couches minces métalliques et diélectriques. Le système est optimisé pour le dépôt de couches minces sur des sufaces planes ainsi que sur des surfaces courbes. CANON SPF-510 dispose d'une chambre UHV avec une zone de dépôt circulaire de 6 pouces et quatre pistolets de source MN de 1 pouce. L'unité est capable de déposer des couches minces à haut débit avec des températures de processus allant jusqu'à 800 ° C La machine est conçue pour une utilisation dans une variété de domaines de recherche scientifique, y compris la science des matériaux, la microélectronique, MEMS/NEMS, et la cellule solaire à couches minces. ANELVA SPF-510 dispose d'un outil de pompage de haute pureté avec une vanne de grille entièrement métallique qui permet un fonctionnement à basse pression de chambre aussi bas que 1 × 10 -3 Pa. L'actif est également équipé d'un moniteur de pression de chambre en temps réel pour un contrôle optimal du processus. Les pistolets de source du modèle disposent d'une source d'alimentation à haut rendement, qui fournit une large gamme de puissances de pulvérisation de 500 W à 5 kW. Ceci permet une vitesse de dépôt rapide (jusqu'à 10 nm/s) avec une excellente homogénéité et uniformité. L'équipement peut être utilisé avec de grands substrats tels que des plaquettes plates et des substrats en forme de tube jusqu'à 25,4 mm de diamètre. En plus du dépôt de pulvérisateurs, SPF-510 supporte également le pulvérisateur réactif. Le système dispose d'une alimentation RF protégée pour le contrôle avancé du processus et l'uniformité. L'unité est équipée d'un contrôleur métrique proportionnel multi-canaux, qui permet une régulation à grande échelle des paramètres du processus de pulvérisation, tels que l'épaisseur cible, la vitesse de dépôt et la pression. CANON/ANELVA SPF-510 est facile à installer et à utiliser. La machine est livrée avec une interface utilisateur intuitive qui permet de paramétrer rapidement le processus. L'outil est conçu pour un fonctionnement fiable et stable dans un environnement de production. En outre, l'actif dispose d'un modèle numérique de régulation de la température en boucle fermée d'alimentation haute performance pour un traitement précis et reproductible. Dans l'ensemble, CANON SPF-510 est un équipement de pulvérisation perfectionné conçu pour le dépôt de couches minces à haut débit. Les caractéristiques du système permettent un contrôle précis du processus de dépôt des couches minces métalliques et diélectriques. L'unité est facile à installer et à utiliser, et est idéale pour une variété d'applications de dépôt de couches minces.