Occasion CANON / ANELVA SPF-540H #9053829 à vendre en France

CANON/ANELVA SPF-540H est un système de dépôt par pulvérisation de précision conçu pour de nombreuses applications. Avec sa conception avancée, cette unité avancée est capable de traiter avec précision des couches minces sur une variété de substrats avec son contrôle précis de paramètres tels que la composition, la texture et la morphologie. Cette machine unique peut être utilisée pour de nombreux types d'applications, y compris la fabrication d'outils de recherche et de production haut de gamme. L'unité CANON SPF-540H comprend une chambre de dépôt qui abrite un magnétron rotatif à trois chambres, une alimentation, une source d'ions, une cible de pulvérisation et une source d'énergie continue avec un porte-substrat polygonal/rotatif pour maintenir le substrat en place pendant le processus de dépôt. L'unité comprend également un spin-on-glass et du verre pyrolytique. Il peut être utilisé dans une variété de procédés allant du dépôt de couches minces aux procédés de CVD monolithiques à grande surface. La source d'énergie est configurée pour contrôler l'intensité de l'impulsion continue pour les sources de pulvérisation et d'ions, et est capable d'une grande variété de tensions de sortie, de plages de courant et de vitesses de cycle. La chambre peut traiter des températures allant jusqu'à 1000 ° C pour le procédé, et la cible est capable de tourner par rapport au substrat. Le magnétron rotatif est capable d'assurer un dépôt uniforme à travers le substrat, et la source d'ions peut être programmée pour divers profils de dépôt. Le dépôt peut être surveillé sur le substrat pendant le processus de dépôt, et la source de pulvérisation peut être programmée pour une variété de compositions. Cet outil est également compatible avec de nombreux types de logiciels de surveillance, permettant une surveillance facile et en temps réel du processus. En outre, il est possible d'exploiter ANELVA SPF-540H à distance, ce qui signifie que l'actif peut être surveillé et contrôlé depuis un endroit éloigné. Dans l'ensemble, SPF-540H est un modèle de dépôt puissant et polyvalent. Il est adapté à une variété d'applications et peut traiter avec précision des films minces sur une variété de substrats. Sa conception avancée et sa capacité à surveiller et à fonctionner à distance en font un outil idéal pour une variété d'utilisateurs.