Occasion CANON / ANELVA SPF-730 #9031246 à vendre en France
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ID: 9031246
Style Vintage: 1988
Sputtering system
Substrate size: 7.5 x 7.5 mm
Taget: 8"
Cryo pump
1988 vintage.
CANON/ANELVA SPF-730 est un équipement de pulvérisation qui est utilisé pour diverses applications de couches minces. Il convient à un large éventail de procédés de pulvérisation et peut être utilisé pour déposer des matériaux tels que des films métalliques et diélectriques. CANON SPF-730 est capable de fournir un dépôt précis et uniforme sur une grande surface, avec un débit élevé. Le système est basé sur la technologie Multi-Magnetron Sputtering (MMS), qui est capable de créer des revêtements durables et uniformes sur différentes zones avec une méthode de pulvérisation optimisée. L'unité dispose d'une conception de chambre modulaire unique qui aide à obtenir une meilleure uniformité des couches déposées. ANELVA SPF-730 possède deux ensembles de magnétrons, l'un en haut et l'autre en bas de la chambre. Cette machine utilise la technologie d'évaporation à arc cathodique pour émettre des ions énergétiques accélérés vers le substrat. Cela aide à obtenir des dépôts uniformes même sur de grands substrats avec une efficacité et une vitesse de dépôt élevées. Il dispose d'un contrôle indépendant des alimentations magnétron et est également constitué d'un générateur RF qui commande à la fois les aimants inférieur et supérieur, assurant ainsi un dépôt uniforme des couches. L'outil contient deux ascenseurs qui aident au chargement/déchargement manuel des substrats. L'actif d'alimentation en gaz de SPF-730 contient deux sources indépendantes de gaz Argon (Ar) et Oxygène (O2). Les deux sources de gaz peuvent être régulées individuellement pour optimiser le processus de dépôt des pulvérisateurs. CANON/ANELVA SPF-730 dispose également d'un refroidisseur qui aide à maintenir la température de la chambre basse pendant le fonctionnement. Il contient également une unité de contrôle qui aide à définir divers paramètres tels que les cycles de processus, le timing et les débits de gaz. Le modèle contient également un panneau d'opérateur à écran tactile et un écran LCD qui permet aux utilisateurs de surveiller l'équipement pendant le fonctionnement. Le système est couramment utilisé pour la réalisation de différents types de couches minces allant de couches diélectriques à faible k à des couches diélectriques à haut k, des films métalliques et des composés. Il est adapté à un large éventail d'applications, y compris la fabrication de plaquettes semi-conductrices, la production de disques durs, la production de panneaux tactiles et d'affichage, et les capteurs. CANON SPF-730 est une unité de pulvérisation hautement efficace qui est capable de créer des films minces uniformes et durables pour diverses applications industrielles. La machine est facile à utiliser et permet un contrôle précis du processus de dépôt.
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