Occasion COMTECH Inline Sputtering System #199743 à vendre en France
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ID: 199743
Taille de la plaquette: 6"
Inline Sputtering System, 6"
(2) Heat stations
(4) 5”x12” sputtering targets.
COMTECH Inline Sputtering Equipment est une technologie de pulvérisation révolutionnaire conçue pour le dépôt in situ de couches minces sur des substrats plats. Ce système avancé offre une grande uniformité de dépôt, des taux de dépôt élevés et un minimum d'entretien. L'unité est composée de deux composants de base : une chambre de dépôt autonome et une alimentation électrique. La chambre de dépôt contient le substrat à revêtir, une source de gaz/ions et un ensemble magnétron-cible. L'alimentation est utilisée pour générer la tension requise pour le bombardement ionique de la cible. Le bombardement ionique est utilisé pour déloger les atomes neutres de la cible. Ces atomes neutres sont ensuite déposés sur le substrat. Les substrats peuvent être de différentes tailles et formes, et peuvent être montés soit verticalement, soit horizontalement. La surface traitée du substrat est limitée uniquement par la taille et la forme de la chambre. Inline Sputtering Machine est équipé de plusieurs fonctionnalités qui ne se trouvent pas dans d'autres systèmes. Il s'agit notamment d'un ensemble magnétron-cible haute performance, qui intègre une fonction d'inversion automatique pour garder la cible sans accumulation. L'outil comprend également un injecteur de gaz, ce qui élimine la nécessité d'introduire puis d'évacuer du gaz pulvérisateur à chaque exécution d'un procédé. L'actif offre également un contrôle automatisé intégré des paramètres de processus. Il dispose d'un terminal d'affichage convivial, qui permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster des variables de processus telles que la température du substrat, l'espacement cible-substrat et la pression du gaz de pulvérisation. COMTECH Inline Sputtering Model est extrêmement fiable, avec un minimum de temps d'arrêt et de coûts de maintenance. Il dispose également d'un équipement de surveillance à distance en option, pour maintenir les opérations efficaces et sécuritaires. Le système a été utilisé avec succès pour un large éventail de processus qui nécessitent une pulvérisation haute performance. Ces procédés comprennent le revêtement optique, le conditionnement de puces, les transistors à couches minces et la fabrication de divers composants électroniques. Inline Sputtering Unit est une technologie rentable, fiable et de pointe qui est idéale pour le dépôt de couches minces sur des substrats plats. Il offre une haute qualité de dépôt et un minimum de temps d'arrêt et d'entretien. Il est capable de déposer rapidement et avec précision des couches minces sur une grande variété de substrats différents, de manière sûre et efficace.
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