Occasion CPA / KURDEX 9900-1 #9173356 à vendre en France
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ID: 9173356
Horizontal in-line sputtering system
Entry / Exit load lock:
CPA Chamber
CPA Load lock valve
Load lock chamber 26"
Single pallet operation
12” x 24” Sputter zone
(1) Al Pallet, 15.5” x 25” x .25”
MKS 924 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
Pallet sensors
Process chamber:
CTI CT-8 Cryo pump
VAT Hivac valve
MKS Throttling valve
CTI 8500 Compressor
MKS 972 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
(2) Gas system with VCR gas lines
(2) NUPRO Isolation valves
(2) MKS MFCs for Ar 200 sccm , O2 50 sccm
MKS Variable throttle value
MKS 390 Baratron gauge
Chain drive transport system
AE Pinnacle+, 5 kW DC power supply
With sync cable
(4) CPA Process chambers:
(6) CPA 4.75” x 15” DC Magnetron assemblies
(6) Targets shielding
(1) CPA Process chamber
Oven run
Control system:
Opto-22 PLC
Monitor-simple PLC
Manual and auto control modes
Recipe control
(2) Stepper motors
I/O Wiring
SMC Soleniod block
UL Approved power box with EMO
CPA Optical pallet sensing system
With controller and sensors
RGA:
LEYBOLD Transpector
Installed with isolation valve
Dry pump.
CPA/KURDEX 9900-1 est un système à base de magnétron spécialement conçu pour les applications de dépôt en couches minces. Il s'agit d'une unité multi-cibles de haute précision parfaitement adaptée à l'enrobage par pulvérisation avec une variété de matériaux. CPA 9900-1 a un taux de dépôt maximal de 0,3 Å/s, une distance cible-échantillon de 3 à 10 cm et une taille maximale de substrat de 9 pouces. Il est également capable de pulvériser des cibles à la fois positives et négatives. La machine est alimentée par une source d'ions Argon automatisée et est équipée d'un pistolet à pulvérisation magnétron à triple cible à ultra-haut vide (UHV). KURDEX 9900-1 est équipé d'une variété de fonctionnalités, y compris un écran tactile pour faciliter le fonctionnement, un design entièrement fermé pour la sécurité, et un écran LED pour la surveillance des cibles. L'outil est en outre équipé d'un PLC (Programmable Logic Controller) pour une automatisation optimisée et un contrôle précis des processus de pulvérisation de l'actif. Le modèle peut également être intégré dans une ligne de production automatisée, permettant un enrobage rapide et efficace des incréments dans les films minces à motifs. 9900-1 utilise un générateur de plasma de haute puissance spécialement conçu pour créer les conditions optimales de pulvérisation. Les paramètres de pulvérisation de cet équipement sont très réglables et peuvent être programmés pour des résultats optimaux. La plage de température maximale du procédé est de 0- 1000˚C, et la puissance maximale est de 8kW. Le système est en outre équipé d'un bouclier refroidi à l'eau pour assurer la sécurité et la fiabilité. CPA/KURDEX 9900-1 est un choix idéal pour les applications de dépôt en couches minces hautes performances. Sa précision et sa vitesse exceptionnelles le rendent bien adapté pour un enrobage rapide et efficace avec une variété de matériaux. L'unité est également équipée de plusieurs dispositifs de sécurité et de surveillance pour protéger l'opérateur et le substrat de toute interférence potentielle. CPA 9900-1 est une option accessible et rentable pour les applications de pulvérisation haute précision et haute performance.
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