Occasion CPA / KURDEX 9900 #9035084 à vendre en France
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ID: 9035084
Sputtering system
Manual operation
Cold trap in each chamber
Load lock at each end
Substrate heater chamber
(3) Cathode chambers
Cathode size: 15"
Diffusion pumps model #0183 (VHS-4 new model number) for the load locks
Turbovac 1000CT Turbo pump for the process chamber
System handles 14 pallets in a load, 12"x12" usable pallet area
Equipped in each load lock a heater enclosure and an omega temperature controller for high temperature cures (=<500C) at high vacuum.
CPA/KURDEX 9900 est un équipement de pulvérisation haute performance conçu pour la recherche en nanotechnologie et en matériaux. C'est un système plasma compact, sans vide, à haut débit, qui dispose de diverses sources d'énergie et d'une large gamme de paramètres personnalisables configurables par l'utilisateur. L'unité est construite sur une plate-forme modulaire, avec un contrôleur, une alimentation électrique, une alimentation en gaz, des porte-cibles, une large gamme de cibles, des chicanes collimatées, une chambre à vide et des visionnages. Le CPA 9900 utilise la technologie du plasma pulsé de haute puissance pour produire un procédé de pulvérisation à haute vitesse et répétable pour fournir un dépôt en phase gazeuse de matériau à couches minces sur un substrat présentant un minimum de défauts. La pulvérisation à haute cadence uniforme assurée par cette machine assure un dépôt de qualité des couches minces avec une excellente adhérence et uniformité. En outre, l'outil peut être utilisé pour déposer des films pour un large éventail d'applications, y compris des structures semi-conductrices, des revêtements optiques et des dispositifs biomédicaux. La puissance de KURDEX 9900 est fournie par une large gamme de sources d'énergie, y compris les magnétrons, les sources de plasma à arc et les canons à faisceau électronique. Les systèmes de contrôle et de surveillance permettent un réglage précis des paramètres plasmatiques, tels que la puissance, la composition du gaz et la largeur des impulsions. Il dispose également de paramètres de travail personnalisables, tels que la température, la pression, le temps de refroidissement et le mode de pression. Ceci permet aux utilisateurs d'adapter le dépôt de pulvérisation à leurs besoins spécifiques. 9900 actif est équipé d'une gamme de mécanismes de sécurité pour assurer la sécurité pendant le processus de pulvérisation. Ces mesures comprennent l'arrêt hors température dans l'espace, la protection thermique ciblée et le contrôle de l'amorçage de l'arc sensible au niveau. Le modèle comprend également un équipement d'empoisonnement ciblé, qui réduit la réaction entre les particules évaporées et le substrat, ainsi que l'interaction avec les contaminants de surface. Dans l'ensemble, le système CPA/KURDEX 9900 est une unité efficace, répétable et hautement contrôlable pour la recherche en nanotechnologie et en matériaux. Cette machine est capable de réaliser des dépôts en couches minces avec une excellente qualité et uniformité pour des matériaux avec une large gamme de propriétés et d'applications. L'interface conviviale, associée à la gamme de paramètres personnalisables, fait de l'outil de pulvérisation CPA 9900 un excellent choix pour toute application de recherche ou de pulvérisation industrielle.
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