Occasion CPA / KURDEX 9900 #9035090 à vendre en France
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ID: 9035090
Sputtering system
Cold trap in each chamber
Load lock at each end
Substrate heater chamber
(3) Cathode chambers
Cathode size: 15"
The left side used to have a diffusion pump model #VHS-4, process chamber and the right load lock each had a turbo pump model# TURBOVAC 1000CT
No high vacuum pumps, turbo pumps or diffusion pumps included
Both load locks original vacuum controllers were upgraded some time ago with PLC vacuum controllers
System handles 14 pallets in a load, 12"x12" usable pallet area
Equipped in each load lock a heater enclosure and an omega temperature controller for high temperature cures (=<500C) at high vacuum.
CPA/KURDEX 9900 est un équipement de pulvérisation en phase vapeur (PVD) très polyvalent conçu pour des applications telles que le dépôt en couches minces, le revêtement à barrière de diffusion, les revêtements de protection et les revêtements optiques. Il est capable de manipuler une grande variété de substrats, avec jusqu'à quatre cibles de pulvérisation, pulvérisation magnétron, ou des sources planaires, permettant la pulvérisation sur plusieurs surfaces simultanément. Ce système est équipé d'un étage d'échantillonnage entièrement informatisé, sans contact, pour un contrôle précis des paramètres d'échantillonnage et de dépôt. Il comprend également un PLC (Programmable Logic Controller) pour la surveillance et le contrôle de tous les paramètres du processus, et l'ajout d'un contrôleur à quartz haute résolution permet la mesure de précision et la pulvérisation de précision. Le CPA 9900 fournit des solutions entièrement automatisées pour répondre à un large éventail de besoins en matière de contrôle et d'enregistrement des données dans les industries des semi-conducteurs et des revêtements ferromagnétiques. Il est compatible avec de nombreux logiciels, dont MATLAB, AutoCAD et LabView. Cette unité utilise à la fois des modes UHV et à vide élevé pour la pulvérisation par pulvérisation, et est capable d'utiliser plusieurs sources telles que des dépôts à haute énergie, à faible énergie et de gaz inerte. En utilisant une cible de pulvérisation circulaire de 63mm, KURDEX 9900 peut améliorer l'uniformité de surface et la qualité du film. De plus, la machine atteint une surface cible de pulvérisation uniforme grâce à une capacité constante de réglage de la profondeur de pulvérisation. La machine dispose d'un PLC pour faciliter tous les paramètres du processus, depuis le réglage de la vitesse de pulvérisation jusqu'au réglage de l'épaisseur du film. La machine est facile à utiliser et peut être utilisée manuellement ou avec un logiciel de réglage automatique en option. Le logiciel d'auto-réglage permet un ajustement plus précis et continu du taux de pulvérisation, ainsi qu'une livraison automatique des gaz de prévention de l'oxydation. L'outil peut également enregistrer les données de chaque étape des processus de nettoyage et de dépôt. 9900 est un outil efficace pour créer des couches très uniformes, sans défaut avec une large gamme de compositions, ce qui peut améliorer les performances à long terme du produit. CPA/KURDEX 9900 se révèle être un outil fiable, précis et robuste pour le dépôt de couches minces.
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