Occasion CPA / KURDEX 9900 #9116667 à vendre en France
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ID: 9116667
Sputtering system
Entry / Exit load lock:
CPA Chamber
CPA Load lock valve
Load lock chamber, 13.125”
Single pallet operation
Substrate, 12” x 12”
SST Pallet, 15.5”x14”
GP-303 Ion gauge controller
Pallet sensors
Load / Unload station
Process chamber:
CTI CT-8 Cryo pump
VAT Hivac valve
MKS Throttling valve
CTI 8500 Compressor
GP-303 Ion gauge controller
(2) Gas system with VCR gas lines
(2) NUPRO Isolation valves
(2) MKS MFCs for Ar, O2
Chain drive transport system
(2) AE Pinnacle+, 10kw dc power supplies
(1) CPA Process chamber:
(2) CPA 4.75”x15” DC magnetron
Assemblies:
(2) Sets of target shielding
Control system:
Opto-22 PLC, monitor
Manual & auto control modes
Recipe control
I/O Wiring
Ul Approved power box with EMO
CPA Optical pallet sensing system
With controller & sensors
Process parameter control ranges:
Sputtering pressure: 5 - 30 Microns
Conveyor speed: 0.1 - 80 cm.min.
D.C Deposition power level: 100 - 9000 watts
R.F Deposition power level: 50 - 3000 watts
R.F Sputter clean power level: 15 - 1000 watts
Substrate heating: Ambient to 350°C
Uniformity performance:
Etch: ±10%
Deposition:
R.F Magnetron ±10%
D.C Magnetron ±5%
Vacuum performance:
Ultimate pressure
2 x 10(-7) in 16 hrs
5 x 10(-7) in 30 minutes
Rate of rise: 1 x 10(-4) 6 minutes
Vacuum tight: Less than 5 x 10(-10) standard atmosphere cc helium/second
Utility requirements:
4-Wire delta or 5 wire wye
Water temperature: 50 - 75°F (10-24°C)
Air: 70 to 100 PSIG (6 to 8 ATU) filtered, 1 CFM
Sputtering gas: Typically 5 PSIG (1.3 ATU) Argon
Options:
Sputter etch
CPA Etch table assy
AE Matching network
RF Switching assy
AE RF generator
Sputter area mod, 24"
RGA:
LEYBOLD Transpector
Installed with isolation valve
Substrate heater:
Process chamber
Heater assy
Contoller
Wiring
Power: 208 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 100 A.
CPA/KURDEX 9900 est un équipement de dépôt de pulvérisateurs conçu pour des procédés fiables de dépôt sous vide à haute performance. Ce système est capable de fournir des matériaux de couches minces de haute qualité et uniformes qui ont une application sur une multitude d'industries. CPA 9900 est livré avec plusieurs options pour la chambre de travail. Il dispose de chambres doubles qui conviennent aux dépôts par pulvérisation ainsi qu'aux procédés de dépôt en phase vapeur. L'une des chambres peut être configurée avec une cryopump pour une utilisation dans un environnement à vide élevé ou ultra-haut vide. KURDEX 9900 comprend un magnétron à colonne quad. Cette configuration permet aux utilisateurs de sélectionner rapidement la configuration source la plus appropriée pour leur application. En outre, cette machine offre un contrôle de fréquence variable de la table de rotation du substrat et une possibilité de programmer plusieurs recettes de pulvérisation. 9900 outil utilise la pulvérisation assistée par champ magnétique pour assurer des vitesses de dépôt indépendantes du temps. Le résultat est un film plus uniforme, plus propre et plus épais qui peut répondre à des applications exigeantes. Cet atout peut également accueillir des configurations de pulvérisateurs multi-cibles, ce qui permet aux utilisateurs de déposer différentes compositions en une seule fois. Ce modèle est également livré avec une pompe turbo avec une pompe de support, pour des performances de vide supérieures. La turbomachine peut être installée séparément des chambres, ce qui permet un entretien sans tracas des chambres. De plus, le CPA/KURDEX 9900 possède une boîte à gaz alimentée par des gaz de haute pureté réglementés. Cette boîte à gaz permet aux utilisateurs de contrôler des gaz tels que l'argon, l'azote, l'oxygène et l'hydrogène. En plus des nombreuses fonctionnalités et options offertes par CPA 9900, l'équipement est convivial, et son fonctionnement est facile à apprendre. Ce système est également livré avec une interface utilisateur graphique intuitive (interface graphique) qui simplifie le fonctionnement et facilite la programmation des tâches de pulvérisation. KURDEX 9900 est un excellent choix pour ceux qui ont besoin d'une unité de pulvérisation fiable et conviviale. Avec ses multiples options de configuration, sa facilité de fonctionnement, ses performances puissantes et ses excellents résultats, cette machine est adaptée à une large gamme d'applications de pulvérisation.
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