Occasion CPA / KURDEX V2000 #9159037 à vendre en France
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ID: 9159037
Sputtering system
Process chamber:
Dimensions: 29.625” H x 9.5” W x 26.25” L
Chambers capable of 600 mm x 600 mm
(3) Process chambers with viewing windows
Entry: (1) Chamber
Deposition: (2) Chambers
(1) Load lock valve
Pumping port: CF-275 flange for RGA
Pumping ports for chamber with frame base plate
Standard modules
With up to (4) cathode positions per module
Cryopumped process chamber
Cryopumped load locks
(2) Sets shielding
RGA Port
DC and RF in any mix
Sputter single side or double side
Vacuum performance:
Ultimate pressure:
2 x 10(-7) in 16 hrs
5 x 10(6) in 30 minutes
Rate of rise: 1 x 10(-4) 6 minutes
Utility requirements:
Water:
4 GPM @ 65 PSI per Deposition / Heater position
Power:
208 VAC 3Ø, 60 Hz, 5 wire, 80A
Gas:
Compressed air: 80 PSI min, 90 PSI max
Vent gas (Nitrogen): 10 PSI min, 15 PSI max
Process gas (Argon): 20 PSI min, 25 PSI max
Doors with no cathodes
Hivacs
Cryos
Throttle valves
Load lock valve
Track assembly.
L'équipement de pulvérisation CPA/KURDEX V2000 est un outil de pulvérisation perfectionné utilisé pour déposer des films minces sur divers substrats. Cet outil puissant est alimenté par une alimentation triphasée en courant alternatif. Il utilise une chambre à vide sous vide, multi-torr avec une pression de travail de sous 1E-5 Torr, permettant jusqu'à trois sources distinctes de pulvériser des films différents simultanément. CPA V2000 offre une source d'évaporation et une source de pulvérisation séparée, qui peuvent toutes deux déposer du film sur le substrat à partir d'une même chambre sans transférer le substrat. La source d'évaporation utilise des filaments céramiques pour déposer des films monocouches ou multicouches avec une épaisseur précise, une composition matérielle et un indice de réfraction typiquement compris entre 1200 et 5.200 nm. La source de pulvérisation est constituée d'un réseau de quatre aimants toroïdaux et d'une anode cylindrique pouvant alimenter jusqu'à quatre sources de pulvérisation. Cette source de pulvérisation a un contrôle de puissance linéaire de 0 à 100 %, permettant un meilleur contrôle du processus de pulvérisation. De plus, KURDEX V2000 offre une large gamme de combinaisons pistolets/matériaux, permettant la production de matériaux aux propriétés supérieures. Le système de pulvérisation est également équipé de la technologie de verrouillage de charge qui aide à maintenir un environnement à vide élevé en commutant entre les différentes chambres. Ceci aide à réguler la pression de la chambre à des niveaux les plus cohérents possible et contribue à prévenir la contamination des films déposés. V2000 est également équipé d'une unité de contrôle de la température en chambre qui permet un contrôle précis de la température lors de l'exécution des processus de dépôt de films sensibles. CPA/KURDEX V2000 est une puissante machine à pulvériser de précision qui est capable de produire une large gamme de films avec des propriétés supérieures et une précision supérieure. Sa conception sophistiquée, ses composants puissants et ses technologies innovantes font de CPA V2000 un choix idéal pour produire des films minces de haute qualité pour diverses applications.
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