Occasion CVC 601 #9060536 à vendre en France

CVC 601 est un équipement de pulvérisation magnétron à courant continu (DC) de pointe. Ce système est conçu pour la recherche fondamentale et appliquée en microélectronique et la fabrication de dispositifs optoélectroniques. Il fournit un contrôle précis sur une variété de paramètres de fonctionnement pour produire des films minces de haute qualité dans un large éventail de techniques de pulvérisation. 601 a une conception modulaire qui permet une variété d'options de configuration pour répondre aux besoins de recherche et industriels. Il s'agit d'une véritable unité de pulvérisation à courant continu pour l'oxydation, la nitridation et d'autres applications en couches minces. La machine cible 6 "utilise des sources de pulvérisation magnétron déséquilibrées avancées qui peuvent être optimisées pour fournir une longue durée de vie, un dépôt à haut débit et des résultats reproductibles. Le dispositif d'accord RF haute puissance est conçu pour assurer un contrôle fiable et répétable des processus. Le CVC 601 comprend un appareil de section d'alimentation, des appareils de chauffage, un obturateur et un actif sous vide avec des pompes moléculaires turbo. Le modèle est configuré pour contrôler la pression de la chambre, la pression de base et la pression de fonctionnement, permettant une préparation précise des substrats aux valeurs de pression optimales requises. Le contrôle précis de températures d'exploitation est permis par un équipement de contrôle de PID avancé avec la haute précision le thermomètre de résistance de Pt1000. Le logiciel 601 permet un contrôle précis de la position de la cible, de la position du substrat et des paramètres d'alimentation RF. Le bras robotique embarqué permet la mise en place et la récupération automatisées du substrat pour le traitement par lots. D'autres caractéristiques comprennent une unité de contrôle automatisé des processus, une cellule de rétroaction optique, un module de surveillance des processus et une machine d'interception de sécurité pour assurer la sécurité des opérateurs. En outre, CVC 601 peut être personnalisé avec un outil de distribution de gaz à déconnexion rapide en option pour évacuer et recharger la chambre avec différents gaz. 601 est un outil idéal pour la recherche sur les matériaux, le dépôt de couches minces et la caractérisation de surface. Il est adapté à diverses applications telles que les cellules solaires, les écrans plats, les dispositifs d'imagerie CMOS, les revêtements durs et les dispositifs MEMS. La combinaison d'un contrôle précis des paramètres du processus, d'un large éventail de fonctionnalités avancées et de logiciels polyvalents offre une expérience utilisateur exceptionnelle.