Occasion ELECTROTECH MS 6210 #9396125 à vendre en France
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ELECTROTECH MS 6210 est un équipement de pulvérisation à haute technologie conçu pour une large gamme d'applications nécessitant le dépôt de couches minces. Ce système est une technologie inestimable pour de nombreuses industries, du traitement des semi-conducteurs au stockage de l'énergie. Le MS 6210 est composé de divers composants. Les principaux éléments comprennent une alimentation RF/DC réglable d'une puissance allant jusqu'à 1000W et une alimentation haute tension réglable qui peut être utilisée pour augmenter ou maintenir la puissance d'un niveau prédéterminé. L'unité peut être équipée de deux sources de pulvérisation de 5 pouces ou 9 pouces, d'une source d'ions de 1 pouce et d'un porte-substrat rotatif de 1 pouce. La base de la source de pulvérisation est en aluminium et est conçue pour un fonctionnement quasi silencieux et une faible production de chaleur. La température de l'ELECTROTECH MS 6210 peut être surveillée et contrôlée par son aspect intégré de mesure et de contrôle de la température. La machine à pulvériser a une chambre à vide capable de maintenir jusqu'à 10-5 torr (.00001 Pascal) de vide. La pression de travail atteignable dans la chambre est jusqu'à 4 x 10-3 torr. Le fonctionnement de l'outil de pulvérisation est régi par un actif de contrôle basé sur Windows accessible via une pédale de pied. Le procédé de pulvérisation proprement dit est entraíné par dépôt réactif de pulvérisateurs utilisant deux sources de pulvérisateurs couplées RF à basse pression. Le dépôt de pulvérisateurs réactifs est un procédé de dépôt de couches minces par pulvérisation d'un matériau cible en atmosphère contrôlée dans une couche mince croissante sur un substrat. Cela permet de constituer des couches minces fortement stoechiométriques et homogènes avec une haute densité et un contrôle total de la composition du film. MS 6210 est idéal pour le dépôt d'alliages C, W, Al, TiN, CrN, Ti et Ni. Des procédés secondaires tels que la gravure, le dépôt assisté par ions et l'oxydation thermique peuvent être intégrés au dépôt réactif de pulvérisateurs pour permettre un contrôle supplémentaire des propriétés du film telles que l'indice de réfraction, la texture de surface et la dureté. En conclusion, ELECTROTECH MS 6210 est un modèle de pulvérisation extrêmement polyvalent qui offre un excellent contrôle sur une gamme de procédés de dépôt en couches minces. Son alimentation RF/DC réglable, l'alimentation haute tension réglable, la mesure et le contrôle de la température, la chambre à vide intégrée et l'équipement de contrôle basé sur Windows en font un excellent choix pour toute application de pulvérisation.
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