Occasion EMITECH / EMCORE K575 #9028726 à vendre en France
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ID: 9028726
Turbo high resolution sputter coater
Turbo pump included
Vacuum: 0.1 - 0.05 Torr
Sputtering Voltage: 100 - 150 V
Current: 0 - 50 mA
Deposition: 0 - 50 nm/min
Grain Size: Less than 5 nm
Temp. Rise: Less than 10 C.
EMITECH/EMCORE K575 est un dispositif avancé de dépôt de couches minces principalement utilisé pour la recherche et le développement. C'est le modèle le plus récent de la gamme K-Series de systèmes de pulvérisation. Sa conception offre un contrôle de précision et des niveaux élevés de répétabilité, ce qui en fait un choix optimal pour une large gamme d'applications de dépôt en couches minces. Le système de pulvérisation électrique EMCORE K575 est amélioré par l'utilisation d'une alimentation RF numérique « en boucle ouverte » optimisée à un étage qui permet un réglage précis des paramètres, un dépôt répétable et un débit élevé. Utilisant un nouveau design de creuset unique, la bobine de chargement supérieur et l'arrangement d'aimant facilite les exécutions de recettes rapides pour diverses séquences d'application. EMITECH K575 dispose d'une interface de contrôle LCD couleur intuitive de 4,5 pouces pour faciliter la configuration et l'utilisation, ainsi que d'un PLC intégré pour la commande de programme personnalisée avec une connexion E/S à distance. Il peut être utilisé avec une large gamme de modules PLC, pour permettre des implémentations de processus complexes. L'unité elle-même est composée de deux composantes principales : le corps principal et le module de processus. Le corps principal abrite tous les composants nécessaires au fonctionnement. Cela comprend le PLC, les alimentations électriques, le contrôle du débit de gaz, la source d'énergie RF et la chambre de dépôt de couches minces. Les modules de processus peuvent être personnalisés pour permettre une variété de scénarios de mise en œuvre pour différentes applications de revêtement. Le module Process se compose d'une chambre de maintien en alliage d'aluminium, avec des fentes conçues pour faciliter l'insertion des ressources matérielles et l'enlèvement des matériaux après leur traitement. Il abrite également une télécommande sans fil qui peut être utilisée pour contrôler l'ensemble de la machine à distance. En outre, le module utilise des algorithmes de contrôle avancés pour permettre le réglage numérique des paramètres et le contrôle précis de l'ensemble de l'outil de dépôt. K575 est un choix idéal pour la recherche et le développement, ainsi que diverses applications de production industrielle. Il fournit une puissance RF stable, des paramètres de précision et des procédés de dépôt de couches minces fiables et de haute qualité. Son interface tactile intuitive, son PLC programmable et sa télécommande sans fil en font un équipement extrêmement convivial.
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