Occasion EMITECH SC7620 #9258013 à vendre en France

ID: 9258013
Sputter coater.
EMITECH SC7620 est un équipement de pulvérisation magnétron haute performance conçu pour le dépôt de couches minces. SC7620 offre une excellente uniformité de dépôt et de contrôle avec son architecture avancée et breveté contrôle de puissance multipoint. Il dispose d'une source de pulvérisation à deux cibles et d'un blindage avancé pour un contrôle précis des dépôts de pulvérisation. La source comprend un générateur RF de grande puissance, une cathode en acier inoxydable et un ensemble de quatre cibles de pulvérisation céramique. Les cibles sont optimisées pour la basse tension, la pulvérisation à haut courant avec une large gamme de paramètres de processus. EMITECH SC7620 offre une uniformité et une commande de dépôt de précision avec son système de commande de puissance breveté unique. Cette fonctionnalité permet à l'utilisateur de dichotomiser la puissance de l'alimentation de pulvérisation et d'équilibrer les zones cibles pour produire des couches minces très uniformes. SC7620 utilise une unité de positionnement de cible à entraînement direct, qui assure un contact direct entre les cibles de pulvérisation et le substrat lors du revêtement de pulvérisation. Cette machine de positionnement de cible à entraînement direct est contrôlée avec précision par une planche de commande pour fournir une épaisseur égale à travers la surface du substrat. L'outil permet également l'utilisation de cibles multiples pour le dépôt de couches multiples. EMITECH SC7620 est polyvalent et réglable grâce à sa capacité de programmation robuste. Il offre un large éventail d'options de programmation qui permettent une certaine souplesse et un dépôt ciblé. Les fonctionnalités programmables avancées comprennent le contrôle de la puissance, les réglages du processus et les recettes de dépôt étape par étape. L'actif de régulation de température intégré SC7620 assure l'uniformité des couches tout au long du processus. L'équipement avancé de régulation de température du modèle peut être configuré en option avec une dérivation N2, permettant des températures allant jusqu'à 600 ° C Les fonctions de sécurité avancées intégrées d'EMITECH SC7620 comprennent l'arrêt d'urgence, le contrôle de la température et plusieurs arrêts de sécurité. Ces caractéristiques protègent l'échantillon, le système et l'environnement des dommages potentiels. SC7620 est un choix idéal pour le dépôt de couches minces de précision de film mince pour des applications telles que les revêtements, MEMS, l'optique, la détection, et plus encore.
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