Occasion EVATEC RAD BPM1 #293797382 à vendre en France

ID: 293797382
Style Vintage: 2014
System 2014 vintage.
EVATEC RAD BPM1 est un équipement de pointe conçu pour les procédés avancés de dépôt de couches minces dans la fabrication de semi-conducteurs et les industries connexes. Ce système haute performance offre une gamme de fonctionnalités et de capacités qui permettent un contrôle précis des propriétés, de l'épaisseur et de l'uniformité des films minces, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements de recherche et de production. Au cœur de l'unité RAD BPM1 se trouve sa technologie de pulvérisation avancée, qui permet le dépôt de couches minces avec une qualité et des performances supérieures. La machine utilise une source d'énergie radiofréquence (RF) pour générer du plasma, qui est utilisé pour pulvériser du matériau d'une cible sur un substrat. Ce procédé permet le dépôt de divers matériaux, dont les métaux, les oxydes et les nitrures, avec une grande pureté et précision. Une des caractéristiques clés de l'outil EVATEC RAD BPM1 est sa conception de chambres polyvalente, qui est entièrement personnalisable pour répondre aux exigences spécifiques des différents procédés de dépôt de couches minces. L'actif peut accueillir de multiples cibles, permettant la co-pulvérisation et la pulvérisation séquentielle de différents matériaux pour créer des structures multicouches complexes. En outre, la chambre est équipée de capacités de chauffage et de refroidissement avancées pour contrôler la température du substrat pendant le dépôt, assurant une croissance optimale du film et l'adhésion. Le modèle RAD BPM1 offre également un contrôle précis de divers paramètres de dépôt, tels que le débit de gaz, la pression, la densité de puissance et la tension de polarisation du substrat. Ce niveau de contrôle permet aux utilisateurs d'adapter les propriétés des couches minces, telles que la composition, l'épaisseur et la structure, pour répondre aux spécifications exactes de leurs applications. L'équipement est équipé d'une interface conviviale qui permet aux programmeurs de créer et d'optimiser facilement les recettes de dépôt, rationalisant le processus et réduisant les délais de mise sur le marché des nouveaux produits en couches minces. En plus de ses capacités de dépôt, le système EVATEC RAD BPM1 est également équipé d'outils de surveillance et de métrologie in situ pour caractériser les propriétés des couches minces en temps réel. Ces outils comprennent l'ellipsométrie, la réflectométrie spectroscopique et la diffraction des rayons X, qui fournissent des informations précieuses sur les propriétés optiques, électriques et structurelles du film pendant le dépôt. Cette boucle de rétroaction en temps réel permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de dépôt à la volée pour obtenir la qualité et les performances souhaitées du film. L'unité RAD BPM1 est conçue en tenant compte de l'évolutivité et de la flexibilité, ce qui permet aux utilisateurs d'agrandir et de mettre à niveau la machine pour tenir compte de l'évolution des exigences des processus et des progrès technologiques. L'outil est compatible avec les systèmes d'automatisation et la robotique pour des environnements de production à haut débit, permettant une intégration homogène dans les lignes de fabrication existantes. De plus, l'actif peut être personnalisé avec des fonctionnalités supplémentaires, telles que l'inclinaison et la rotation du substrat, l'aide au faisceau d'ions et les capacités réactives de pulvérisation par pulvérisation, pour répondre aux besoins uniques des différents processus de dépôt de couches minces. Dans l'ensemble, le modèle EVATEC RAD BPM1 représente une solution de pointe pour les applications avancées de dépôt en couches minces dans la fabrication de semi-conducteurs et les industries connexes. Avec sa technologie avancée de pulvérisation, sa conception polyvalente des chambres, son contrôle précis des paramètres de dépôt et ses outils de surveillance in situ, l'équipement offre des performances et une flexibilité inégalées pour les environnements de recherche et de production. Ses options d'évolutivité et de personnalisation en font un choix idéal pour un large éventail de procédés de dépôt de couches minces, de la recherche fondamentale à la fabrication en grand volume, ce qui en fait un atout précieux pour les organisations qui cherchent à rester à l'avant-garde dans le domaine en évolution rapide de la technologie des couches minces.
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