Occasion HABOR HWT-250 / PSA-15 #293666753 à vendre en France

HABOR HWT-250/ PSA-15 est conçu pour le dépôt de couches minces sur des substrats. Il est adapté à une variété d'applications, y compris la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, l'emballage au niveau des plaquettes, la modification de surface, et une variété de projets de recherche et de développement. Le système se compose de la chambre principale, qui est construite en acier inoxydable et comprend une unité de pompage avec une alimentation électrique, étage rotatif, et panneau de commande. Le vide est généré par une combinaison d'une pompe à rugosité et de pompes turbo moléculaires, qui fournissent un vide allant jusqu'à 10ˉ¹ mbar. Le procédé de dépôt est réalisé par la source de pulvérisation magnétron rf. Le matériau cible est chauffé à la température désirée puis pulvérisé sur le substrat. La température du matériau cible peut être contrôlée par une alimentation qui peut être ajustée pour différents matériaux. L'alimentation peut être réglée en fonction de la fréquence et de la puissance de sortie. Ceci permet un contrôle de précision lors du dépôt de différents films minces. Le panneau de contrôle est convivial, permettant un dépôt automatisé et plusieurs recettes à stocker. De plus, l'étage rotatif peut être utilisé pour réaliser des films multicouches sur un seul substrat. L'homogénéité du dépôt est contrôlée à l'aide d'un détecteur OES qui mesure la composition du film. La machine est équipée d'une variété de caractéristiques qui assurent un dépôt de film fiable. Il dispose d'un outil de refroidissement pour assurer le bon fonctionnement lors de charges lourdes. Un verrouillage de charge rapide permet des temps de transfert de substrat rapides. Un modèle de palier à air permet d'assurer une rotation uniforme du substrat et un bon fonctionnement. En outre, l'équipement offre la traçabilité au matériau de construction et assure le contrôle environnemental via des pièces par milliard de contrôle. Ceci assure des procédés de dépôt propres et l'uniformité du produit. Comme le système est ouvert à l'utilisateur, des processus manuels peuvent être effectués si nécessaire. Il s'agit notamment de régler manuellement la source d'énergie, de surveiller la croissance du film ou de contrôler précisément le temps de dépôt. L'unité offre également une variété de diagnostics qui peuvent être utilisés pour le dépannage, tels que des tests de contamination de surface et d'oxydation. HWT-250/ PSA-15 est un outil fiable, convivial et robuste pour le dépôt de couches minces avec uniformité et précision. Il permet la génération d'une variété de films minces pour de nombreuses applications. L'outil est équipé de toutes les caractéristiques nécessaires pour le dépôt de couches minces de haute précision.