Occasion HITACHI E-1030 #9254425 à vendre en France

HITACHI E-1030 est un équipement de pulvérisation haute performance utilisé pour l'évolution des films minces métalliques, semi-conducteurs ou oxydes. Un pulvérisateur est un procédé utilisé pour déposer des couches minces sur des substrats en les impactant avec des particules énergétiques. Ce système utilise un procédé assisté par faisceau d'ion pour augmenter les taux de dépôt et améliorer l'homogénéité des films. Il est capable de générer des couches minces très précises pour les écrans, les cellules solaires, le MEMS et d'autres composants électroniques. E-1030 comprend une alimentation radiofréquence basse impédance (RF), une unité de surveillance optique et une chambre à ultra-haut vide (UHV). L'alimentation RF fournit une source de courant puissante, permettant de terminer le processus dans un vide plus élevé que ce qui est normalement possible. Ceci améliore la qualité structurale et optique des films déposés. La machine de surveillance optique comprend des caméras fixées à chaque étage de substrat, permettant l'observation en temps réel du processus de dépôt et le contrôle précis du processus de pulvérisation. La chambre UHV de HITACHI E-1030 utilise une pompe turbo-moléculaire réfrigérée et une combinaison d'électrodes d'huile et de SUS316L pour minimiser la contamination. Ceci permet de maintenir une atmosphère extrêmement propre pendant le processus de dépôt. La chambre est conçue pour maintenir une pression de base de 5,0 × 10-9 Torr, et peut maintenir un vide propre pendant 24 heures. E-1030 utilise quatre charges uniformes pour répartir la force d'impact des ions pulvérisés. Ceci assure une excellente homogénéité du matériau d'un substrat à l'autre. Les charges peuvent accueillir des substrats jusqu'à 140mm de diamètre et peuvent contenir des substrats aussi épais que 3mm. L'outil comporte quatre cibles indépendantes, permettant la pulvérisation de quatre matériaux différents en même temps. HITACHI E-1030 est capable de réaliser des recettes automatisées pour définir avec précision les conditions de dépôt d'un film donné. Cela permet d'obtenir des résultats de dépôt reproductibles et garantit une qualité de production fiable. Il dispose également d'un actif d'autosurveillance qui détectera les erreurs du modèle et enverra des messages d'alerte à l'opérateur. Dans l'ensemble, E-1030 est un équipement de pulvérisation haute performance qui fournit une uniformité de matériau exceptionnelle et des résultats de dépôt répétables. Idéal pour les métaux, les semi-conducteurs et les couches minces d'oxyde, il est le choix idéal pour créer des écrans, des cellules solaires, des MEMS et d'autres composants électroniques.